特許
J-GLOBAL ID：200903086517232790

感光性樹脂膜およびこれからなる硬化膜

発明者：
岩永 伸一郎

岩永 伸一郎 について

, 
木村 徹

木村 徹 について

, 
西川 耕二

西川 耕二 について


出願人/特許権者：
JSR株式会社

JSR株式会社 について


代理人 (4件)： 鈴木 俊一郎 ,  牧村 浩次 ,  高畑 ちより ,  鈴木 亨
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-098392
公開番号（公開出願番号）：特開2004-302389
出願日： 2003年04月01日
公開日（公表日）： 2004年10月28日
要約：
【解決手段】本発明の未硬化状態の感光性樹脂膜は、(A)特定のアルカリ可溶性共重合体と、(B)少なくとも1個のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物と、(C)乾燥膜厚70μmの未硬化状態の塗膜を形成したときに該塗膜の365nmの放射線透過率が10%以上であり、かつ405nmの放射線透過率が60%以上となるような放射線ラジカル重合開始剤とを含有してなり、前記(A)成分100重量部に対して、前記放射線ラジカル重合開始剤(C)を20〜40重量部の量で含み、乾燥膜厚が50μm以上であることを特徴としている。【効果】本発明の感光性樹脂膜およびこれからなる硬化膜によれば、従来、形成することが困難であった、高さ50μm以上の高バンプをチップ基材上に高精度かつ容易に形成することができ、これにより、素子の接続不良を抑制し、素子の信頼性を向上することができる。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
(A)(a)α-メチル-p-ヒドロキシスチレンから誘導される構成単位を1〜30重量%、 (b)カルボキシル基を有するラジカル重合性化合物から誘導される構成単位を5〜20重量%、 (c)アクリル酸脂肪族エステルから誘導される構成単位を20〜40重量%、 (d)多環式脂肪族基を有するラジカル重合性化合物から誘導される構 成単位を30〜60重量% の量で含有してなるアルカリ可溶性共重合体と、 (B)少なくとも1個のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物と、 (C)乾燥膜厚70μmの未硬化状態の塗膜を形成したときに該塗膜の365nmの放射線透過率が10%以上であり、かつ405nmの放射線透過率が60%以上となるような放射線ラジカル重合開始剤とを含有してなり、 前記(A)成分100重量部に対して、前記放射線ラジカル重合開始剤(C)を20〜40重量部の量で含み、 乾燥膜厚が50μm以上であることを特徴とする未硬化状態の感光性樹脂膜。
IPC (3件)：
G03F7/033 ,  G03F7/004 ,  G03F7/028
FI (3件)：
G03F7/033 ,  G03F7/004 512 ,  G03F7/028
Fターム (16件)：
2H025AA02 ,  2H025AA14 ,  2H025AB11 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025CA05 ,  2H025CA35 ,  2H025CB17 ,  2H025CB41 ,  2H025CB43 ,  2H025CB45 ,  2H025CB55 ,  2H025CB60
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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