複合構造物作製用ノズル

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：小山有
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-052836
公開番号（公開出願番号）：特開2003-251227
出願日： 2002年02月28日
公開日（公表日）： 2003年09月09日
要約：

【要約】【課題】広い幅で均一な濃度でエアロゾルを噴出するノズルを提供する。【解決手段】ノズル31は2枚の板状部材311、312を貼り合わせてなり、一方の板状部材312の表面には一端が1個の導出開口32で他端が3個の導入開口33となる溝313が形成され、この溝313は3本に分岐した上流側部分313aと1本に合流した下流側部分313bからなり、上流側部分313aについては、下流側に向かって(Z方向に沿って)、短辺方向(X方向)の寸法が徐々に小さくなり、長辺方向(Y方向)の寸法が徐々に大きくなるようにし、しかも、上流側部分313aではエアロゾル通過空間の断面積が下流側に向かって徐々に狭くなるようにしている。また下流側部分313bについては短辺方向及び長辺方向の寸法を変化させずに略等しくしている。

請求項（抜粋）：

微粒子をガス中に分散させたエアロゾルを基材に衝突させ、前記基材表面に前記微粒子の構成材料からなる構造物を形成させる複合構造物形成装置に用いられるノズルにおいて、前記ノズルが、前記エアロゾルが通過するエアロゾル通過空間を有するノズル本体と、前記エアロゾルを導入するための導入開口と、前記エアロゾルを噴射させるための矩形の導出開口とを具備し、前記導入開口を複数有し、且つ前記導出開口は1つであることを特徴とする複合構造物形成用ノズル。

IPC (2件)：

B05B 1/04 , C23C 24/04

FI (2件)：

B05B 1/04 , C23C 24/04

Fターム (13件)：

4F033BA01 , 4F033BA05 , 4F033CA05 , 4F033DA01 , 4F033EA01 , 4F033LA13 , 4F033NA01 , 4K044AA02 , 4K044AA13 , 4K044AB10 , 4K044BA11 , 4K044BC07 , 4K044CA23

引用特許：

審査官引用 (4件)

熱電発電素子の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-250742 出願人：セイコーエプソン株式会社
塗布装置の塗布ノズル装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-280177 出願人：株式会社サンツール
塗布装置および有機銀を含む感光層の形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-309688 出願人：コニカ株式会社

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