特許

J-GLOBAL ID：200903086656949381

表面検査装置

発明者： 磯崎 久 ,  榎本 芳幸
出願人/特許権者： 株式会社トプコン
代理人 (1件)： 三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-370638
公開番号（公開出願番号）：特開2003-166946
出願日： 2001年12月04日
公開日（公表日）： 2003年06月13日
要約：

【要約】【課題】表面検査装置に於いて充分な照射光強度が得られる様にし、検出精度の向上を図る。【解決手段】基板5表面にレーザ光線2を照射し、該レーザ光線の散乱反射光を検出して異物を検出する表面検査装置に於いて、光源部12が複数の発光源を有し、それぞれの発光源からのレーザ光線を光軸が互いに平行な光束として基板表面に照射する照射光学系7を具備する。

請求項（抜粋）：

基板表面にレーザ光線を照射し、該レーザ光線の散乱反射光を検出して異物を検出する表面検査装置に於いて、光源部が複数の発光源を有し、該それぞれの発光源からのレーザ光線を光軸が互いに平行な光束として基板表面に照射する照射光学系を具備することを特徴とする表面検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/956 ,  H01L 21/66

FI (2件)：

G01N 21/956 A ,  H01L 21/66 J

Fターム (17件)：

2G051AA51 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051BA01 ,  2G051BA10 ,  2G051BB01 ,  2G051BB09 ,  2G051CA01 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051DA08 ,  4M106AA01 ,  4M106BA05 ,  4M106CA41 ,  4M106CA46 ,  4M106DB08 ,  4M106DB12

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 表面検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-034390   出願人：株式会社東芝
• 情報記録媒体の欠陥検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-100506   出願人：株式会社リコー
• 光学式記録媒体再生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-339975   出願人：パイオニア株式会社