特許
J-GLOBAL ID：200903086678441004

交番電圧パターンを用いる静電アクチュエータ

発明者：
ストース・オーエン

ストース・オーエン について

, 
カール・タウシグ

カール・タウシグ について


出願人/特許権者：
ヒューレット・パッカード・カンパニー

ヒューレット・パッカード・カンパニー について


代理人 (1件)： 古谷 馨 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-065913
公開番号（公開出願番号）：特開平10-262381
出願日： 1998年03月16日
公開日（公表日）： 1998年09月29日
要約：
【要約】【課題】 精密な位置決めを行い、かつ通常のCMOS集積回路を使用して制御することが可能な静電アクチュエータを提供する。【解決手段】 第1及び第2の部材を有する静電アクチュエータであり、第1の部材は被駆動電極のアレイからなる第1の対向面を有し、被駆動電極はピッチPrを有する。第2の部材は第2の対向面を有し、駆動電極のアレイからなる。支持体は、第1の対向面が第2の対向面から距離dをもって隔置される、第2の部材に隣接する第1の部材に位置する。間隔とピッチの比は、8未満であることが必要であり、好ましくは2.25未満である。支持体は、第1の部材を第2の部材に対して移動可能とする。あるいは逆もまた同様である。電圧源は、被駆動電極のアレイに実質的な交番電圧パターンを印加する。電極制御器は、駆動電極のアレイに実質的な交番電圧パターンを印加し、第1及び第2の部材の移動可能な一方を他方に対して移動するように、駆動電極のアレイに関わる実質的な交番電圧パターンに局部的な破壊を選択的に加える。
請求項（抜粋）：
第1の対向面を有し、該第1の対向面がピッチprを有する被駆動電極のアレイを備えた第1の部材、第2の対向面を有し、該第2の対向面が駆動電極のアレイを備えた第2の部材、 第1の部材と第2の部材との間に配置された支持体であって、互いに隣接する第1の部材および第2の部材を第1の対向面を第2の対向面から間隔dだけ離して支持し、該間隔とピッチは8未満のpr/d比を有し、第1の部材および第2の部材の一方を他方に対して移動可能にする支持体、被駆動電極のアレイに実質的な交番電圧パターンを印加する手段、および駆動電極のアレイに実質的な交番電圧パターンを印加し、且つ駆動電極のアレイに関わる実質的な交番電圧パターンに選択的に変化を加えて第1の部材および第2の部材の一方を他方に対して移動させる手段、を備えていることを特徴とする静電アクチュエータ。
引用特許：
審査官引用 (4件)
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