特許
J-GLOBAL ID：200903086691810566
単結晶引上げ装置用の冷凍機冷却型超電導磁石装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 洋介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-005955
公開番号（公開出願番号）：特開平11-199367
出願日： 1998年01月14日
公開日（公表日）： 1999年07月27日
要約：
【要約】【課題】 MCZ法による単結晶引き上げ装置に適した冷凍機冷却型超電導磁石装置を提供すること。【解決手段】 単結晶成長装置の周囲に配置され、溶融シリコンに磁界を与えるための超電導コイル11a、11bを収容した真空容器10と、真空容器の上部に配置され、超電導コイルを冷却するための冷凍機12aとを備える。超電導コイルは、真空容器内で巻枠としてのコイル冷却用熱伝導体13で支持されており、冷凍機の冷凍ステージ12-1、12-2は真空容器内にあってコイル冷却用熱伝導体に設けられた接続部13-1の近くまで延びている。第二段の冷凍ステージ先端のコールドヘッド12-21と接続部との間を可撓性を有する伝熱部材14で接続した。
請求項（抜粋）：
溶融シリコンから単結晶半導体を製造する単結晶成長装置における前記溶融シリコンに磁界を与えるための冷凍機冷却型超電導磁石装置において、前記単結晶成長装置の周囲に配置され、前記磁界を発生するための超電導コイルを収容した真空容器と、該真空容器の上部に配置され、前記超電導コイルを冷却するための冷凍機とを備え、前記超電導コイルは、前記真空容器内で巻枠としてのコイル冷却用熱伝導体で支持されており、前記冷凍機の冷凍ステージは前記真空容器内にあって前記コイル冷却用熱伝導体に設けられた接続部の近くまで延びており、前記冷凍ステージ先端のコールドヘッドと前記接続部との間を可撓性を有する伝熱部材で接続したことを特徴とする単結晶引上げ装置用の冷凍機冷却型超電導磁石装置。
IPC (6件)：
C30B 15/00 ZAA
, C30B 29/06 502
, C30B 30/04
, F25B 9/00
, H01F 6/04
, H01L 21/208
C30B 15/00 ZAA Z
, C30B 29/06 502 G
, C30B 30/04
, F25B 9/00 H
, H01L 21/208 P
, H01F 7/22 G
