光学装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-127458
公開番号（公開出願番号）：特開平8-306618
出願日： 1995年04月28日
公開日（公表日）： 1996年11月22日
要約：

【要約】【目的】光学薄体を湾曲させ、線形的な倍率変化を発生させる具体的な手段を有する光学装置を提供する。【構成】結像光学系12を備え、その結像位置のずれ以外の結像性能に対し実質的に影響を与えない程度の光学的厚さで、かつ湾曲した形状の光学薄体13を結像光学系の光路中に配する。

請求項（抜粋）：

結像光学系を備え、その結像位置のずれ以外の結像性能に対し実質的に影響を与えない程度の光学的厚さで、かつ湾曲した形状の光学薄体を前記結像光学系の光路中に配することを特徴とする光学装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G02B 27/18 , G03F 7/20 521

FI (5件)：

H01L 21/30 517 , G02B 27/18 Z , G03F 7/20 521 , H01L 21/30 515 D , H01L 21/30 518

引用特許：

出願人引用 (5件)

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審査官引用 (5件)

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