特許

J-GLOBAL ID：200903086717400604

プローブカード

発明者： 浦川 陽一 ,  山口 憲栄
出願人/特許権者： 株式会社日本マイクロニクス
代理人 (1件)： 鈴木 利之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-218312
公開番号（公開出願番号）：特開平11-051972
出願日： 1997年07月30日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：

【要約】【課題】 補強板の線膨張率を針押さえの線膨張率の1.2〜1.4倍にすることで、針押さえを90〜300mmと長くした場合における針押さえの熱変形を抑制して、高温測定時における針先高さのばらつきを少なくする。【解決手段】 プリント基板30の上面に補強板32をネジ34と接着剤で固定し、補強板32の下面に針押さえ36をネジ38と接着剤で固定する。針押さえ36の下面にはプローブ針42の針先に近い部分を接着剤で固定する。針押さえ36の材質はアルミナセラミックであり、その線膨張率は8.0ppm/°Cである。補強板32の材質はSUS410(マルテンサイト系ステンレス鋼)であり、その線膨張率は10.4ppm/°Cである。したがって、針押さえ36の線膨張率に対して補強板32の線膨張率は1.3倍になっている。なお、プリント基板30の主たる材質はポリイミドである。

請求項（抜粋）：

次の特徴を備えるプローブカード。(イ)プリント基板に配線パターンが形成されていて、この配線パターンにプローブ針の基端が接続されている。(ロ)前記プリント基板の中央に、厚さ方向に貫通している開口部が形成されている。(ハ)前記プリント基板の、プローブ針の針先が突き出ている側(以下、内側という。)とは反対側の表面において、前記開口部を少なくとも部分的に覆うように補強板が固定されている。(ニ)前記補強板の内側の表面に針押さえが固定されていて、この針押さえの内側の端面が、前記開口部から内側方向に突き出している。(ホ)前記針押さえの内側の端面にはプローブ針の針先に近い部分が固定されている。(ヘ)前記補強板の線膨張率は、前記針押さえの線膨張率の1.2〜1.4倍である。(ト)前記針押さえの外形は細長く、その長手方向の寸法は90〜300mmの範囲内にある。

IPC (2件)：

G01R 1/073 ,  H01L 21/66

FI (2件)：

G01R 1/073 E ,  H01L 21/66 B

引用特許：

審査官引用 (3件)

• プローブカード
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-218112   出願人：株式会社日本マイクロニクス
• プローブカード
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-137957   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン山梨株式会社
• 特開平2-056918