特許

J-GLOBAL ID：200903086775154010

非破壊検査装置

発明者： 小田原 成計 ,  中山 哲 ,  茅根 一夫
出願人/特許権者： セイコー電子工業株式会社
代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-166346
公開番号（公開出願番号）：特開平9-119918
出願日： 1996年06月26日
公開日（公表日）： 1997年05月06日
要約：

【要約】【課題】 超伝導磁気検出器と被検査物間の距離を短くすることにより空間分解能を向上させた非破壊検査装置の提供。【解決手段】 クライオスタットの内層容器38と外層容器39間の真空層中に検査室を設け、検査室内に被検査物と被検査物を走査するステージ40を設置する。真空ポンプで検査室の真空排気を行い内層容器に冷媒を移送し、被検査物60を内層容器の底板31に近づけて検査を行う。

請求項（抜粋）：

磁気信号を電気信号に変換する超伝導磁気センサーと、前記超伝導磁気センサーを駆動する電子回路と、冷媒を保持するクライオスタットと、被検査物を走査するステージを有する被破壊検査装置において、前記ステージを前記クライオスタット内に有することを特徴とする非破壊検査装置。

IPC (5件)：

G01N 27/87 ,  G01R 33/035 ZAA ,  H01L 21/66 ZAA ,  H01L 39/04 ZAA ,  H01L 39/22 ZAA

FI (5件)：

G01N 27/87 ,  G01R 33/035 ZAA ,  H01L 21/66 ZAA J ,  H01L 39/04 ZAA ,  H01L 39/22 ZAA D

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特公平6-014111
  
• SQUID応用検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-143294   出願人：株式会社日立製作所
• 非破壊検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-195126   出願人：住友電気工業株式会社