面型光素子、面型光素子実装体、その作製方法、およびそれを用いた光配線装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：加藤一男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-012593
公開番号（公開出願番号）：特開2002-214485
出願日： 2001年01月22日
公開日（公表日）： 2002年07月31日
要約：

【要約】【課題】部品点数の増加やプロセス制御性の向上を必要とせずに、プラスチック光ファイバと面型光素子のアライメント精度を向上させ、プラスチック光ファイバの固定作業も容易にして生産性を向上させ、低コスト化を図る面型光素子である。【解決手段】面型光素子5の表面に、面型光素子5との光結合が可能なようにプラスチック光ファイバ16を差し込んで固定するためのガイド穴4が形成される。ガイド穴4は、光感光性あるいは電子ビーム硬化性を持ちホトリソグラフィでパターニングすることで選択的に硬化が可能な厚膜材料3で形成してある。プラスチック光ファイバ16の先端面はレンズ形状に加工して光結合効率を向上させている。

請求項（抜粋）：

発光または受光が可能な面型光素子であって、先端がレンズ形状のポリマーを含む光ファイバを該面型光素子との光結合が可能なように差し込んで固定するためのガイド穴が、該面型光素子の表面に、光感光性あるいは電子ビーム硬化性を持ちホトリソグラフィでパターニングすることで選択的に硬化が可能な厚膜材料で形成してあることを特徴とする面型光素子。

IPC (5件)：

G02B 6/42 , H01L 23/28 , H01L 33/00 , H01S 5/022 , H01S 5/42

FI (5件)：

G02B 6/42 , H01L 23/28 D , H01L 33/00 N , H01S 5/022 , H01S 5/42

Fターム (32件)：

2H037AA01 , 2H037BA05 , 2H037BA14 , 2H037CA08 , 2H037DA04 , 2H037DA06 , 4M109AA01 , 4M109BA03 , 4M109DA06 , 4M109GA01 , 5F041AA02 , 5F041CA36 , 5F041CA46 , 5F041DA01 , 5F041DA07 , 5F041EE02 , 5F041FF14 , 5F073AA74 , 5F073AB14 , 5F073AB17 , 5F073AB28 , 5F073BA01 , 5F073CA04 , 5F073CB02 , 5F073DA05 , 5F073DA21 , 5F073DA24 , 5F073DA27 , 5F073EA14 , 5F073EA29 , 5F073FA07 , 5F073FA11

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭63-226607
アレイ光素子モジュール
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-111750 出願人：古河電気工業株式会社, 技術研究組合新情報処理開発機構
面型光デバイス及び光ファイバとの光結合方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-016704 出願人：古河電気工業株式会社, 技術研究組合新情報処理開発機構

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