特許
J-GLOBAL ID：200903086846537705

高周波電源装置

発明者：
小谷 弘幸

小谷 弘幸 について

, 
武居 宏卓

武居 宏卓 について


出願人/特許権者：
株式会社ダイヘン

株式会社ダイヘン について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-252880
公開番号（公開出願番号）：特開2007-066778
出願日： 2005年08月31日
公開日（公表日）： 2007年03月15日
要約：
【課題】 高周波電源装置において、増幅部における直流電力から高周波電力への変換効率を高めると、出力電力設定値と直流電源電圧Vdcの出力レベルとの関係を予め求める作業が必要であった。【解決手段】 発振部13から出力される発振信号を増幅して高周波電力を出力する増幅部14と、出力レベルが可変可能である直流電力を出力する直流電源部19と、増幅部から出力する高周波電力を測定して高周波電力測定値を出力する出力電力測定部16と、増幅部14に供給される直流電力を測定して直流電力測定値を出力する直流電力測定部20と、高周波電力測定値が出力電力設定値に等しくなるように制御する出力電力制御部12と、高周波電力測定値/直流電力測定値が予め定められた効率設定値に等しくなるように直流電源部19から出力する直流電力を制御する直流電源制御部18とを備えた。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
負荷に供給する高周波電力の電力値が出力電力設定値と等しくなるように制御する高周波電源装置において、 発振信号の出力レベルが可変可能である発振手段と、 前記発振手段から出力される発振信号を増幅した高周波電力を出力する増幅手段と、 出力レベルが可変可能である直流電力を前記増幅手段に供給する直流電力供給手段と、 高周波電源装置の出力端における高周波電力の電力値を測定し、測定した高周波電力測定値を出力する高周波電力測定手段と、 前記増幅手段に供給される直流電力の電力値を測定し、測定した直流電力測定値を出力する直流電力測定手段と、 前記高周波電力測定値が前記出力電力設定値に等しくなるように発振手段の出力レベルを制御する第1制御手段と、 前記高周波電力測定値を前記直流電力測定値で除した演算値(=高周波電力測定値/直流電力測定値)が予め定められた効率設定値に等しくなるように直流電力供給手段から増幅手段に供給する直流電力を制御する第2制御手段と、 を備えたことを特徴とする高周波電源装置。
IPC (3件)：
H05H 1/46 ,  H03F 1/02 ,  H02M 7/48
FI (3件)：
H05H1/46 R ,  H03F1/02 ,  H02M7/48 E
Fターム (22件)：
5H007CA02 ,  5H007CB06 ,  5H007CC32 ,  5H007DA04 ,  5H007DB01 ,  5H007DC03 ,  5J500AA01 ,  5J500AA41 ,  5J500AC36 ,  5J500AF10 ,  5J500AH10 ,  5J500AH25 ,  5J500AH29 ,  5J500AH33 ,  5J500AH36 ,  5J500AK29 ,  5J500AK32 ,  5J500AK41 ,  5J500AM21 ,  5J500AT01 ,  5J500AT06 ,  5J500RG01
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 高周波電源
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-004528   出願人：株式会社ダイヘン
審査官引用 (2件)

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