特許
J-GLOBAL ID：200903086893456560
追尾式レーザ干渉計
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
高矢 諭
, 松山 圭佑
, 牧野 剛博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-175778
公開番号（公開出願番号）：特開2007-057522
出願日： 2006年06月26日
公開日（公表日）： 2007年03月08日
要約：
【課題】回転機構のランアウトに対してロバストで、且つ、基準球表面の疵や埃の影響を受け難くい追尾式レーザ干渉計。【解決手段】追尾式レーザ干渉計において、固定配設された基準球212、基準球の中心を中心として回動するようにされたキャリッジ214、キャリッジ上に設けられたレトロリフレクタの変位に応じた変位信号を出力するレーザ干渉計216、基準球と変位計との相対的な変位に応じた変位信号を出力する変位計218、219、変位計が出力する変位信号、レーザ干渉計が出力する変位信号とから基準球のレトロリフレクタの変位を算出するデータ処理装置250、レトロリフレクタからレーザ干渉計に戻ってくるレーザビームが、その光軸と直交する方向にずれたとき、そのずれ量に応じた位置信号を出力する位置検出手段238と位置検出手段からの位置信号に基づいて、ずれ量がゼロになるようにキャリッジの回動を制御する制御手段252とを備える。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
被測定体であるレトロリフレクタに向けて照射し、該レトロリフレクタによって戻り方向に反射されたレーザビームの干渉を利用してレトロリフレクタの変位を検出すると共に、前記レーザビームの光軸の位置の変化を用いてトラッキングを行うようにした追尾式レーザ干渉計において、
固定配設された基準球と、
該基準球の中心を中心として回動するようにされたキャリッジと、
該キャリッジ上に設けられた、前記レトロリフレクタの変位に応じた変位信号を出力するレーザ干渉計、及び、前記基準球と変位計との相対的な変位に応じた変位信号を出力する変位計と、
該変位計が出力する変位信号と、レーザ干渉計が出力する変位信号とから、基準球を基準としたレトロリフレクタの変位を算出するデータ処理装置と、
前記レトロリフレクタから反射されてレーザ干渉計に戻ってくるレーザビームが、その光軸と直交する方向にずれたとき、そのずれ量に応じた位置信号を出力する位置検出手段と、
該位置検出手段からの位置信号に基づいて、前記ずれ量がゼロになるようにキャリッジの回動を制御する制御手段と、
を備えたことを特徴とする追尾式レーザ干渉計。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (38件)：
2F064AA01
, 2F064AA15
, 2F064CC01
, 2F064DD02
, 2F064DD03
, 2F064EE01
, 2F064EE10
, 2F064FF01
, 2F064GG12
, 2F064GG15
, 2F064GG22
, 2F064GG23
, 2F064GG24
, 2F064GG32
, 2F064GG38
, 2F064HH03
, 2F064HH06
, 5J084AA04
, 5J084AA06
, 5J084AD08
, 5J084BA03
, 5J084BA23
, 5J084BA37
, 5J084BB04
, 5J084BB14
, 5J084BB15
, 5J084BB16
, 5J084BB17
, 5J084BB21
, 5J084BB31
, 5J084DA01
, 5J084DA02
, 5J084DA03
, 5J084DA07
, 5J084EA01
, 5J084EA08
, 5J084EA12
, 5J084EA23
