特許
J-GLOBAL ID：200903086921879978
光変調装置及びその光変調装置の製造方法並びにその光変調装置を具備する画像形成装置及びその光変調装置を具備する画像投影表示装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-102478
公開番号（公開出願番号）：特開2002-296521
出願日： 2001年03月30日
公開日（公表日）： 2002年10月09日
要約：
【要約】【課題】 入射光の反射方向を変えて光変調を行う構造が簡単で応答も速く、使用する入射光の波長が制限されることなく、駆動電圧が低く作動が安定で信頼性も高く、製造工程が少なく低コストの光変調装置及びその光変調装置の製造方法並びにその光変調装置を具備する画像形成装置及びその光変調装置を具備する画像投影表示装置を提供する。【解決手段】 入射光を正反射する反射手段1と、反射手段を側面に組み合わせ構成する薄膜で形成され両端が固定されて静電力で変形する薄膜両端固定梁2と、薄膜両端固定梁の他方側面に対向して駆動電圧を印加する基板電極3と、基板電極と薄膜両端固定梁とが対応して形成される空隙4と、空隙の底部に基板電極を形成した基板5と、基板が保持して固定する薄膜両端固定梁の固定部を分割した分割固定部6とからなる。
請求項（抜粋）：
入射光の反射方向を変えて光変調を行う光変調装置において、入射光を正反射する反射手段と、上記反射手段を側面に組み合わせ構成する薄膜で形成され両端が固定されて静電力で変形する薄膜両端固定梁と、上記薄膜両端固定梁の他方側面に対向して駆動電圧を印加する基板電極と、上記基板電極と上記薄膜両端固定梁とが対応して形成される空隙と、上記空隙の底部に上記基板電極を形成した基板と、上記基板が保持して固定する上記薄膜両端固定梁の固定部を分割した分割固定部とからなることを特徴とする光変調装置。
IPC (3件)：
G02B 26/08
, G03B 21/00
, G03B 21/14
G02B 26/08 J
, G03B 21/00 D
, G03B 21/14 Z
2H041AA16
, 2H041AB38
, 2H041AC06
, 2H041AZ02
, 2H041AZ08
