特許
J-GLOBAL ID：200903086929492657
トラブル原因究明支援装置,トラブル原因究明支援方法,プログラムを記憶する記憶媒体
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大山 浩明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-327108
公開番号（公開出願番号）：特開2008-140248
出願日： 2006年12月04日
公開日（公表日）： 2008年06月19日
要約：
【課題】基板処理装置のトラブルに関連するログを自動的に検索して強調表示させることを可能とし,トラブル原因の究明作業の効率を高める。【解決手段】複数の種類別ログファイルを格納する種類別ログファイル記憶部322と,予め基板処理装置のトラブルに関連するログに含まれる文字列がキーワードとして記憶されたキーワードファイルを格納するキーワードファイル記憶部323とを設け,入力部311からの入力情報に基づいて特定されたキーワードファイルからログ検索に使用するキーワードを設定するとともに,ログ解析に使用する種類別ログファイルを設定し,設定された種類別ログファイルのログを取り出して結合し,そのログを時系列にソートした解析用ログファイルを作成し,表示部312に解析用ログファイルのログを表示する共に,設定されたキーワードを含むログを解析用ログファイルから検索して強調表示させる。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
被処理基板に対して所定の処理を施す基板処理装置にトラブルが発生した際に,前記基板処理装置で得られたログを解析して行うトラブル原因の究明を支援する装置であって,
入力部と,
表示部と,
前記基板処理装置で得られたログがそれぞれ種類別に記憶された複数の種類別ログファイルを格納するログファイル記憶部と,
予め前記基板処理装置のトラブルに関連する1つ又は複数のログにそれぞれ含まれる文字列がキーワードとして記憶された1つ又は複数のキーワードファイルを格納するキーワードファイル記憶部と,
前記入力部からの入力情報に基づいて特定された1つ又は複数のキーワードファイルから,ログの検索に使用するキーワードを設定するキーワード設定部と,
前記入力部からの入力情報に基づいて,前記種類別ログファイル記憶部からログの解析に使用する種類別ログファイルを設定する種類別ログファイル設定部と,
設定された種類別ログファイルのログを取り出して結合し,そのログを時系列にソートした解析用ログファイルを作成する解析用ログファイル作成部と,
前記表示部に前記解析用ログファイルのログを表示するとともに,設定されたキーワードを含むログをそれぞれ前記解析用ログファイルから検索して強調表示させる表示制御部と,
を備えることを特徴とするトラブル原因究明支援装置。
IPC (4件)：
G06F 11/34
, G06F 11/32
, H05K 3/00
, H01L 21/02
G06F11/34 C
, G06F11/32 E
, H05K3/00 V
, H01L21/02 Z
5B042GB05
, 5B042GC08
, 5B042HH30
, 5B042MA10
, 5B042MA14
, 5B042MC15
, 5B042MC40
, 5B042NN07
, 5B042NN14
