特許
J-GLOBAL ID：200903099144798513
基板処理システム、基板処理装置、装置情報管理方法、プログラム及び記録媒体
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-205109
公開番号（公開出願番号）：特開2003-022116
出願日： 2001年07月05日
公開日（公表日）： 2003年01月24日
要約：
【要約】【課題】 基板処理装置の障害発生時に、稼働情報を遠隔地から即時に閲覧することができる基板処理システムを提供する。【解決手段】 基板処理システム10は、基板処理装置1と情報蓄積サーバ2とサポートコンピュータ3とを備え、それぞれネットワーク6に接続される。基板処理装置1で障害が発生すると、アラーム処理部122は必要な関連ログファイル262を抽出して情報蓄積サーバ2の固定ディスク24に記憶する。さらに、障害情報生成部123によって障害情報が生成され、最終的に障害情報DB261として情報蓄積サーバ2の固定ディスク24に記憶される。これらの関連ログファイル262と障害情報DB261は、装置情報公開部226により遠隔地のサポートコンピュータ3から閲覧することが可能となる。これにより、即座に関連ログファイル262や障害情報DB261を閲覧することができる。
請求項（抜粋）：
基板処理装置と、前記基板処理装置の装置情報を処理するコンピュータとがネットワークに結合された基板処理システムであって、取得された前記装置情報を蓄積する装置情報蓄積手段と、前記装置情報蓄積手段に蓄積された前記装置情報を、前記ネットワークを介して前記コンピュータから閲覧可能にする装置情報公開手段と、を備えることを特徴とする基板処理システム。
IPC (4件)：
G05B 19/418
, G05B 23/02
, H01L 21/02
, H01L 21/68
G05B 19/418 Z
, G05B 23/02 V
, H01L 21/02 Z
, H01L 21/68 A
3C100AA52
, 3C100AA57
, 3C100AA59
, 3C100BB33
, 3C100CC02
, 3C100CC03
, 3C100EE06
, 5F031CA02
, 5F031CA05
, 5F031JA21
, 5F031JA50
, 5F031JA51
, 5F031MA26
, 5F031MA27
, 5F031MA30
, 5F031PA10
, 5H223AA20
, 5H223BB02
, 5H223CC03
, 5H223CC08
, 5H223DD01
, 5H223DD03
, 5H223DD07
, 5H223DD09
, 5H223EE06
, 5H223EE30
, 5H223FF08
