特許
J-GLOBAL ID：200903086944938548

光学系およびレーザー照射装置

発明者：
田中 幸一郎

田中 幸一郎 について


出願人/特許権者：
株式会社半導体エネルギー研究所

株式会社半導体エネルギー研究所 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-052853
公開番号（公開出願番号）：特開2001-242413
出願日： 2000年02月29日
公開日（公表日）： 2001年09月07日
要約：
【要約】【課題】 球面レンズの収差を減らし、線状レーザーのエネルギー分布を均一にする。【解決手段】 シリンドリカルレンズを母線に対し平行でかつ光軸に対し平行な平面で分断する。分断された個々のレンズの被照射面からの高さを変えることで、レンズ内の焦点距離の差が補正されて収差が減る。これにより線状レーザーのエネルギー分布が均一になる。本発明は線状レーザー光学系だけでなくレンズの収差を減らす方法としても用いることができる。
請求項（抜粋）：
球面レンズを複数個に分割し球面を不連続にすることで、被照射面での収差が減らされていることを特徴とするレーザー照射装置。
IPC (8件)：
G02B 27/09 ,  G02B 3/06 ,  G02B 3/08 ,  G02F 1/1368 ,  H01L 21/20 ,  H01L 21/268 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336
FI (7件)：
G02B 3/06 ,  G02B 3/08 ,  H01L 21/20 ,  H01L 21/268 J ,  G02B 27/00 E ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 29/78 627 G
Fターム (82件)：
2H092HA04 ,  2H092HA05 ,  2H092JA24 ,  2H092JA28 ,  2H092JA41 ,  2H092JA44 ,  2H092JB05 ,  2H092JB07 ,  2H092KA04 ,  2H092KA07 ,  2H092KB25 ,  2H092MA04 ,  2H092MA05 ,  2H092MA30 ,  2H092MA35 ,  2H092NA25 ,  2H092NA27 ,  2H092PA02 ,  2H092PA03 ,  2H092PA04 ,  5F052AA02 ,  5F052BA07 ,  5F052BA18 ,  5F052BB02 ,  5F052BB07 ,  5F052CA07 ,  5F052DA02 ,  5F052DB03 ,  5F052DB07 ,  5F110AA30 ,  5F110BB02 ,  5F110CC02 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110DD15 ,  5F110DD17 ,  5F110EE01 ,  5F110EE04 ,  5F110EE11 ,  5F110EE14 ,  5F110EE23 ,  5F110EE44 ,  5F110EE45 ,  5F110FF02 ,  5F110FF04 ,  5F110FF28 ,  5F110FF30 ,  5F110FF36 ,  5F110GG01 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13 ,  5F110GG25 ,  5F110GG45 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ04 ,  5F110HJ07 ,  5F110HJ13 ,  5F110HJ18 ,  5F110HJ23 ,  5F110HL01 ,  5F110HL03 ,  5F110HL04 ,  5F110HL11 ,  5F110HL23 ,  5F110HM15 ,  5F110NN03 ,  5F110NN04 ,  5F110NN22 ,  5F110NN27 ,  5F110NN36 ,  5F110NN72 ,  5F110NN73 ,  5F110PP03 ,  5F110PP05 ,  5F110PP06 ,  5F110PP35 ,  5F110QQ04 ,  5F110QQ11 ,  5F110QQ24 ,  5F110QQ25
引用特許：
審査官引用 (5件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM