特許
J-GLOBAL ID：200903087009976616

基板処理装置

発明者：
伊豆田 崇

伊豆田 崇 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (1件)： 杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-308034
公開番号（公開出願番号）：特開2004-146489
出願日： 2002年10月23日
公開日（公表日）： 2004年05月20日
要約：
【課題】突沸が生じたことを報知することにより、突沸による基板への悪影響を回避することができる基板処理装置を提供する。【解決手段】突沸に起因する処理液の液面状態の乱れを圧力測定部31によって検知し、これに基づき制御部41が突沸したことを判断して報知部43により報知する。したがって、装置のオペレータは突沸が生じたことを知ることができるので、基板への継続的な処理を停止する等の対応をとることができ、突沸状態の処理液による基板処理を継続することによる悪影響を防止できる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
加熱した処理液を処理槽に貯留し、処理液に基板を浸漬して処理を施す基板処理装置において、 処理液の液面状態を検知する検知手段と、 前記検知手段により検知した液面状態に基づいて処理液が突沸したこと判断する制御手段と、 前記制御手段が処理液の突沸と判断した場合、その状態を報知する報知手段と、 を備えていることを特徴とする基板処理装置。
IPC (3件)：
H01L21/306 ,  B65G49/04 ,  H01L21/68
FI (3件)：
H01L21/306 J ,  B65G49/04 D ,  H01L21/68 A
Fターム (16件)：
5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA09 ,  5F031FA18 ,  5F031HA48 ,  5F031HA73 ,  5F031JA01 ,  5F031JA10 ,  5F031JA21 ,  5F031JA47 ,  5F031MA24 ,  5F043AA35 ,  5F043BB23 ,  5F043EE36
引用特許：
審査官引用 (3件)

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