特許
J-GLOBAL ID：200903087040135590

基板処理装置および基板処理方法

発明者：
千場 教雄

千場 教雄 について

, 
宮田 亮

宮田 亮 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 高山 宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-004971
公開番号（公開出願番号）：特開2003-209154
出願日： 2002年01月11日
公開日（公表日）： 2003年07月25日
要約：
【要約】【課題】 検査/測定装置に故障が生じた際にも基板の処理を続行することができる基板処理装置および基板処理方法を提供する。【解決手段】 レジスト塗布/現像処理システム1は、カセットステーション11と、処理ステーション13と、検査ステーション12を具備する。検査ステーション12は、例えば欠陥検査ユニット(ADI)と、ダミー検査ユニット(DMM-A)と、バイパス検査ユニット(BMM-A)と、主ウエハ搬送装置31とを有する。ウエハWの抜き取り検査を行う場合に、欠陥検査ユニット(ADI)が故障した際には検査用ウエハWをバイパス検査ユニット(BMM-A)に載置し、検査用ウエハWを除く残りの基板を検査ステーション12に搬送された順序に従ってダミー検査ユニット(DMM-A)に載置し、検査ステーション12に搬入された順序でウエハWをカセットステーション11へ搬出する。
請求項（抜粋）：
基板に所定の処理を施す基板処理装置であって、複数の基板が収容されたカセットを載置するカセットステーションと、前記カセットから搬出された基板に対して所定の処理を施す処理ステーションと、前記処理ステーションにおける処理が終了した基板に対して所定の検査/測定を行う検査ステーションと、前記カセットステーション、前記処理ステーションおよび前記検査ステーションの間で基板を搬送する基板搬送手段と、を具備し、前記検査ステーションは、前記処理ステーションから前記検査ステーションに搬送された基板に対して所定の検査/測定を行う検査/測定ユニットと、前記検査/測定ユニットと並列に設けられ、前記検査/測定ユニットに基板を搬入することができない事情が生じている場合に、前記検査/測定ユニットによる検査/測定を行う予定の基板が臨時に搬入される臨時基板載置ユニットと、を有し、前記検査/測定ユニットに基板を搬入することができない事情が生じている場合に、前記基板搬送手段は、前記処理ステーションから前記臨時基板載置ユニットを経て前記カセットステーションへ基板を搬送することを特徴とする基板処理装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/027
FI (3件)：
H01L 21/68 A ,  B65G 49/07 E ,  H01L 21/30 562
Fターム (39件)：
5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA03 ,  5F031GA35 ,  5F031GA36 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031JA02 ,  5F031JA04 ,  5F031JA13 ,  5F031JA21 ,  5F031JA22 ,  5F031JA27 ,  5F031JA31 ,  5F031JA32 ,  5F031JA45 ,  5F031KA03 ,  5F031KA12 ,  5F031KA20 ,  5F031LA07 ,  5F031MA24 ,  5F031MA26 ,  5F031MA27 ,  5F031MA30 ,  5F031MA33 ,  5F031PA10 ,  5F031PA30 ,  5F046CD01 ,  5F046JA04 ,  5F046KA04 ,  5F046LA01 ,  5F046LA18
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM