特許

J-GLOBAL ID：200903087049695105

装置管理システム

発明者： 稲 秀樹 ,  鈴木 武彦 ,  千徳 孝一 ,  松本 隆宏 ,  大石 哲
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 西山 恵三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-301868
公開番号（公開出願番号）：特開2003-197517
出願日： 2002年10月16日
公開日（公表日）： 2003年07月11日
要約：

【要約】【課題】 生産性の高い装置管理を提供する。【解決手段】 稼動中において、管理対象となる装置を管理する装置管理方法は、管理の対象となる装置を稼動させるためのパラメータを設定し(S205)、その設定されたパラメータに基づき、装置を稼動させて(S220)、装置を稼動させた結果を、その装置の稼動中において検査する (S225)。検査により求められる第1パラメータ値に対する稼動結果を示す第1評価量と、第1パラメータ値とは異なる第2パラメータ値(S215)に基づく稼動結果を示す第2評価量(S210,S230)と、からパラメータ値を決定する(S255、S260)。第1パラメータ値を、決定されたパラメータ値に更新し、その更新されたパラメータ値に基づき装置を稼動させる。

請求項（抜粋）：

装置を管理するシステムにおいて、前記装置を稼動させるためのパラメータの値を設定する設定手段と、前記設定手段により設定される第1パラメータ値に基づき、前記装置を稼動させる稼動手段と、前記装置を稼動させた結果を検査する検査手段と、前記検査により求められる第1パラメータ値による稼動結果を示す第1評価量と、前記検査を行なわずに求められる前記第1パラメータ値とは異なる第2パラメータ値による稼動結果を示す第2評価量と、からパラメータ値を決定する決定手段と、を有し、前記設定手段は、前記パラメータの値を前記決定手段により決定されたパラメータ値とし、前記稼動手段は、前記決定手段により決定されたパラメータ値に基づき前記装置を稼動することを特徴とするシステム。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/213 ,  H01L 21/02

FI (4件)：

G03F 7/213 H ,  H01L 21/02 Z ,  H01L 21/30 516 Z ,  H01L 21/30 502 G

Fターム (5件)：

5F046AA28 ,  5F046BA03 ,  5F046DA11 ,  5F046DD06 ,  5F046FC04

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 位置合わせ方法、その位置合わせ方法を用いた露光方法、その露光方法を用いたデバイス製造方法、そのデバイス製造方法で製造されたデバイス、並びに位置合わせ装置、その位置合わせ装置を備えた露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-027512   出願人：株式会社ニコン
• 位置合わせ装置及びそれを用いた投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-164230   出願人：キヤノン株式会社
• 特開平4-032219
  
• 位置合わせ方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-212434   出願人：株式会社ニコン
• 特開平3-185807