走査電子顕微鏡

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-301999
公開番号（公開出願番号）：特開2001-126655
出願日： 1999年10月25日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
要約：

【要約】【課題】低真空SEMに於いて、試料周辺の残留ガス分子による二次電子増幅法と吸収電流を利用して画像を形成する方法が試みられており、これによる画像は二次電子像と酷似しているため微細な表面構造や立体像の観察が低真空雰囲気において可能となっている。この特徴から低真空SEM利用者に需要が出てきており、低コスト・簡単な操作性・良好な像質等が要求されている。【解決手段】高真空時の観察に用いている二次電子検出器の二次電子コレクタ電極を、本発明の基となっている基本原理に適用した低真空走査電子顕微鏡。また試料微動ステージにリング状電極を設置し収量増大・像質向上を目的として構成される低真空走査電子顕微鏡。またそれら電極構造において、像観察する際の観察条件自動設定機能を用いた低真空走査電子顕微鏡。

請求項（抜粋）：

低真空形走査電子顕微鏡 (以下低真空SEM)の二次電子観察法に於いて、試料周辺のガスを利用した二次電子増幅法と吸収電流を利用して画像を形成する時に必要となる電界供給源として、高真空時に二次電子検出器の補助電極として使用している二次電子コレクタ電極を併用することで簡易的に低真空SEMの二次電子像観察ができる走査電子顕微鏡。

IPC (2件)：

H01J 37/244 , H01J 37/28

FI (2件)：

H01J 37/244 , H01J 37/28 B

Fターム (5件)：

5C033FF00 , 5C033FF10 , 5C033NN01 , 5C033NP08 , 5C033UU04

引用特許：

審査官引用 (2件)

走査電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-327565 出願人：株式会社日立製作所
荷電粒子線装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-057838 出願人：株式会社日立製作所

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