特許
J-GLOBAL ID：200903087080572178
水晶発振式膜厚モニタ用センサヘッドを用いた膜厚のモニタ方法。
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
北村 欣一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-265189
公開番号（公開出願番号）：特開2007-024909
出願日： 2006年09月28日
公開日（公表日）： 2007年02月01日
要約：
【課題】成膜工程中の薄膜の膜厚を高い精度でモニタすることが可能な膜厚のモニタ方法を提供する。【解決手段】水晶板12X(121〜1212)を保持するステンレス鋼製の水晶板ホルダ13と、共振周波数を検出するための羽型電極14X(141〜1412)を保持するPTFE樹脂製の電極ホルダ15と、水晶板ホルダ13と電極ホルダ15とから成る回転可能な円板16を回転させる真空用パルスモータ18と、水晶板ホルダ13と電極ホルダ15と真空用パルスモータ18とを被うステンレス鋼製の水冷式ジャケット19と、水晶板ホルダ13を成膜方向から被う窓21付きのステンレス鋼製のマスク20とを備え、あらかじめスパッタ成膜により、成膜工程で用いる成膜材料を前記水晶振動子のそれぞれの成膜側の表面に被覆し、その後、成膜材料を用いる成膜を行う際に、成膜材料が被覆されている水晶振動子を選択して切換えることを特徴とする。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
複数の水晶振動子を保持する水晶振動子ホルダと、前記水晶振動子の共振周波数を検出するための電極を保持する電極ホルダと、前記水晶振動子ホルダと前記電極ホルダとを被う熱遮蔽カバーと、前記水晶振動子ホルダと前記電極ホルダとを一体的に回転させる回転機構と、前記水晶振動子ホルダと前記電極ホルダと前記回転機構とを冷却するように被う水冷式ジャケットを有する冷却機構とを備え、前記水晶振動子ホルダと前記熱遮蔽カバーとが水晶振動子の熱伝導よりも低い熱伝導の低熱伝導材料としてのステンレス鋼で構成され、前記電極ホルダが電気絶縁材料で構成され、前記回転機構により前記水晶振動子ホルダを回転して前記水晶振動子を切換える水晶発振式膜厚モニタ用センサヘッドを用いて膜厚をモニタする方法において、
あらかじめスパッタ成膜により、成膜工程で用いる成膜材料を前記水晶振動子のそれぞれの成膜側の表面に被覆し、その後、前記成膜材料を用いる成膜を行う際に、該成膜材料が被覆されている前記水晶振動子を選択して切換えることを特徴とする膜厚のモニタ方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (13件)：
2F068AA28
, 2F068BB17
, 2F068BB29
, 2F068DD08
, 2F068DD11
, 2F068DD12
, 2F068FF23
, 2F068FF28
, 2F068KK03
, 2F068KK10
, 2F068LL04
, 2F068LL12
, 2F068QQ10
