特許
J-GLOBAL ID：200903087089538240
蒸着装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
板垣 孝夫
, 森本 義弘
, 笹原 敏司
, 原田 洋平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-096582
公開番号（公開出願番号）：特開2006-274370
出願日： 2005年03月30日
公開日（公表日）： 2006年10月12日
要約：
【課題】 膜厚の制御が精度良く行えるとともに蒸着処理能力を向上し得ることができる蒸着装置を提供することを目的とする。【解決手段】 蒸着用誘導管6に介在された第1ストップバルブ5と、蒸発用容器4から蒸着用容器3に接続されて蒸発材料の一部を調整用として取り出す調整用誘導管8と、調整用誘導管8に介在された第2ストップバルブとを具備し、ガラス基板1の交換作業を行う際、第2ストップバルブ7を開いて蒸発用容器4内の高濃度の蒸発材料を放出した後、第1ストップバルブ5を開いて蒸発用容器4から通常濃度となった蒸発材料を放出させることにより、蒸発用容器4内を短時間で定常状態とすることができるとともに通常濃度の蒸発材料をガラス基板1に付着させることができるため、蒸着処理能力を向上し得ることができるとともに膜厚の制御を精度良く行うことができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
蒸着材料を加熱して蒸発材料を得る蒸発室と、前記蒸発材料を蒸着させる被蒸着部材が設けられている蒸着室と、前記蒸発室から前記蒸着室に接続されて蒸発材料を移送する蒸着用誘導路とを備えた蒸着装置であって、
前記蒸着用誘導路に介在された第1弁装置と、
一端が前記蒸発室から前記蒸着用誘導路における前記第1弁装置の上流側までの間に接続されるとともに他端が前記蒸着室に接続されて蒸発材料の一部を調整用として取り出す調整用誘導路と、
前記調整用誘導路に介在された第2弁装置と、
前記蒸着室内に、前記調整用誘導路から前記被蒸着部材に向かって放出される蒸発材料が前記被蒸着部材へ飛翔することを遮蔽する遮蔽部材と
を具備したこと
を特徴とする蒸着装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (12件)：
3K007AB18
, 3K007DB03
, 3K007FA01
, 4K029AA09
, 4K029AA24
, 4K029BA62
, 4K029BD00
, 4K029CA01
, 4K029DB12
, 4K029DB18
, 4K029EA01
, 4K029EA03
出願人引用 (1件)
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蒸着装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2000-217261
出願人：株式会社デンソー
審査官引用 (2件)
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