特許
J-GLOBAL ID：200903055875421780

成膜源、成膜装置、成膜方法、有機ELパネルの製造方法、有機ELパネル

発明者：
安彦 浩志

安彦 浩志 について

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増田 大輔

増田 大輔 について

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梅津 茂裕

梅津 茂裕 について


出願人/特許権者：
東北パイオニア株式会社

東北パイオニア株式会社 について


代理人 (2件)： 小橋 信淳 ,  小橋 立昌
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-099944
公開番号（公開出願番号）：特開2005-281808
出願日： 2004年03月30日
公開日（公表日）： 2005年10月13日
要約：
【課題】 良質の成膜が得られる成膜工程を所望の状態で長時間連続的に行う。【解決手段】 成膜源10は、成膜室2内に配置され、基板3の被成膜面3Aに対向する放出口11と、成膜室2の外に配置され、交換可能な材料容器12A1,12A2を備えた材料収容部12と、材料容器内の成膜材料を加熱する加熱装置13と、放出口11と材料収容部12とを気密に連通する放出流路141,142と、放出流路から分岐して放出口11に向かう成膜材料を他方向に導く逃がし流路151,152とを備えると共に、少なくとも放出流路141,142の分岐より下流側及び逃がし流路151,152に、成膜材料の流通を遮断・開放又は可変調整する流通規制バルブV1〜V4を設けた。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
室内を真空又は減圧状態にした成膜室内で、昇華又は蒸発した成膜材料を基板の被成膜面に成膜する成膜装置の成膜源であって、 前記成膜室内に配置され、前記基板の被成膜面に対向して前記成膜材料を放出する放出口と、 前記成膜室の外に配置され、前記成膜材料が収容される材料容器を備えた材料収容部と、 前記材料容器内の成膜材料を加熱する加熱手段と、 前記放出口と前記材料収容部とを気密に連通する放出流路と、 該放出流路から分岐して前記放出口に向かう成膜材料を他方向に導く逃がし流路とを備えると共に、 少なくとも前記放出流路の前記分岐より下流側及び前記逃がし流路に、成膜材料の流通を遮断・開放又は可変調整する流通規制手段を設けたことを特徴とする成膜源。
IPC (3件)：
C23C14/24 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14
FI (4件)：
C23C14/24 T ,  C23C14/24 S ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A
Fターム (13件)：
3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4K029AA11 ,  4K029BA62 ,  4K029BB02 ,  4K029BC07 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029DB11 ,  4K029DB12 ,  4K029DB15 ,  4K029DB17
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 熱物理蒸着装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-119794   出願人：イーストマンコダックカンパニー
審査官引用 (2件)

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