特許
J-GLOBAL ID：200903087120257173
ガス電子増幅器およびそれに用いるガス電子増幅フォイルの製造方法ならびにガス電子増幅器を使用した放射線検出器
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
上島 淳一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-056997
公開番号（公開出願番号）：特開2007-234485
出願日： 2006年03月02日
公開日（公表日）： 2007年09月13日
要約：
【課題】電子の増幅率を低下させることなく従来よりも電子の広がりを小さくすることを可能にし、高い電子増幅率を備えかつ位置分解能を向上する。【解決手段】放射線とガスとの光電効果による相互作用を用いたガス電子増幅器において、ガスを充填したチャンバーと、上記チャンバー内に配置された単一のガス電子増幅フォイルとを有し、上記ガス電子増幅フォイルは、厚さ100〜300μm程度の高分子ポリマー材料からなる板状の絶縁層と上記絶縁層の両面に被覆された平面状の金属層とを有して構成された板状多層体よりなり、上記板状多層体には貫通孔構造を設ける。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
放射線とガスとの光電効果による相互作用を用いたガス電子増幅器において、
ガスを充填したチャンバーと、
前記チャンバー内に配置された単一のガス電子増幅フォイルと
を有し、
前記ガス電子増幅フォイルは、
厚さ100〜300μm程度の高分子ポリマー材料からなる板状の絶縁層と前記絶縁層の両面に被覆された平面状の金属層とを有して構成された板状多層体よりなり、
前記板状多層体には貫通孔構造が設けられた
ことを特徴とするガス電子増幅器。
IPC (3件)：
H01J 47/14
, H01J 9/02
, G01T 1/18
H01J47/14
, H01J9/02 Z
, G01T1/18 A
, G01T1/18 C
2G088FF02
, 2G088FF04
, 2G088FF05
, 2G088FF06
, 2G088FF09
, 2G088FF14
, 2G088GG03
, 2G088JJ05
, 2G088JJ09
, 2G088JJ31
, 2G088JJ37
