特許
J-GLOBAL ID：200903087151099649
整面処理性に優れたFe-Ni系合金薄板およびそれを用いたシャドウマスク
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-211489
公開番号（公開出願番号）：特開2001-073089
出願日： 1999年07月27日
公開日（公表日）： 2001年03月21日
要約：
【要約】【課題】 整面処理の不均一性を解消することで、エッチング加工による微細加工に対応可能なFe-Ni系合金薄板を提供する。【解決手段】 最表面から1nmまでの深さを光電子分光装置で測定した時、結合エネルギー185〜196eVのB(ホウ素)の最大検出量が7原子%以下、結合エネルギー395〜403eVのN(窒素)の最大検出量が4原子%以下、若しくは、最表面から1nmまでの深さを光電子分光装置で測定した時、結合エネルギー156〜168eVのS(硫黄)の最大検出量が、2原子%以下である整面処理性に優れたFe-Ni系合金薄板である。
請求項（抜粋）：
最表面から1nmまでの深さを光電子分光装置で測定した時、結合エネルギー185〜196eVのB(ホウ素)の最大検出量が7原子%以下、結合エネルギー395〜403eVのN(窒素)の最大検出量が4原子%以下であることを特徴とする整面処理性に優れたFe-Ni系合金薄板。
IPC (4件)：
C22C 38/00 302
, H01J 9/14
, H01J 29/07
, C22C 38/08
C22C 38/00 302 Z
, H01J 9/14 G
, H01J 29/07 A
, C22C 38/08
5C027HH02
, 5C027HH11
, 5C031EE05
, 5C031EF10
, 5C031EG13
, 5C031EH08
