特許
J-GLOBAL ID：200903087158821153

感光性樹脂積層体

発明者：
小谷 雄三

小谷 雄三 について

, 
五十嵐 勉

五十嵐 勉 について


出願人/特許権者：
旭化成エレクトロニクス株式会社

旭化成エレクトロニクス株式会社 について


代理人 (4件)： 武井 英夫 ,  清水 猛 ,  伊藤 穣 ,  鳴井 義夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-234977
公開番号（公開出願番号）：特開2006-053352
出願日： 2004年08月12日
公開日（公表日）： 2006年02月23日
要約：
【課題】 レジストパターンの優れた解像度および密着性を維持し、かつ感光性樹脂積層体を基板にラミネートする際のラミエアーを抑制し、もって微細な導体パターンの製造に適した感光性樹脂積層体を提供する。【解決手段】 少なくとも、(A)支持層、(B)感光性樹脂層、(C)保護層をこの順に積層してなる感光性樹脂積層体であって、(A)支持層が、少なくとも(A-1)第一の有機ポリマーフィルム、(A-2)熱可塑性樹脂層、(A-3)第二の有機ポリマーフィルムをこの順に積層して一体とした積層体であり、(A-2)熱可塑性樹脂層のガラス転移温度が(A-1)第一の有機ポリマーフィルム及び(A-3)第二の有機ポリマーフィルムのガラス転移温度より低く、(A-3)第二の有機ポリマーフィルムが感光性樹脂層に接触し、厚みが1〜20μmであり、B)感光性樹脂層の厚みが0.1〜15μmである感光性樹脂積層体、を用いる。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
少なくとも、(A)支持層、(B)感光性樹脂層、(C)保護層をこの順に積層してなる感光性樹脂積層体であって、(A)支持層が、少なくとも(A-1)第一の有機ポリマーフィルム、(A-2)熱可塑性樹脂層、(A-3)第二の有機ポリマーフィルムをこの順に積層して一体とした積層体であり、(A-2)熱可塑性樹脂層のガラス転移温度が(A-1)第一の有機ポリマーフィルム及び(A-3)第二の有機ポリマーフィルムのガラス転移温度より低く、(A-3)第二の有機ポリマーフィルムが(B)感光性樹脂層に接触し、かつ厚みが1〜20μmであり、(B)感光性樹脂層の厚みが0.1〜15μmであることを特徴とする感光性樹脂積層体。
IPC (5件)：
G03F 7/09 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/11 ,  G03F 7/40 ,  H01L 21/60
FI (5件)：
G03F7/09 501 ,  G03F7/004 512 ,  G03F7/11 501 ,  G03F7/40 521 ,  H01L21/60 311W
Fターム (35件)：
2H025AA02 ,  2H025AA14 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC42 ,  2H025CA01 ,  2H025CA27 ,  2H025CA28 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB15 ,  2H025CB16 ,  2H025CB43 ,  2H025DA01 ,  2H025DA19 ,  2H025DA20 ,  2H025EA08 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H025FA40 ,  2H096AA25 ,  2H096AA26 ,  2H096BA05 ,  2H096BA20 ,  2H096CA16 ,  2H096CA20 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08 ,  2H096HA17 ,  2H096JA04 ,  2H096LA16 ,  5F044KK03 ,  5F044MM48
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (5件)
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