特許

J-GLOBAL ID：200903064026967019

感光性樹脂層への露光方法

発明者： 高山 陽介 ,  森 徹 ,  平林 憲明
出願人/特許権者： 旭化成株式会社
代理人 (1件)： 小松 秀岳 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-389414
公開番号（公開出願番号）：特開2003-066625
出願日： 2001年12月21日
公開日（公表日）： 2003年03月05日
要約：

【要約】【課題】 現像した後の硬化レジストパターンの解像度が高度に優れ、サイドウォールのがたつきが少なく、これに由来するエッチング工程又はめっき工程において形成される回路の欠けや断線、ショートなどの欠陥の少ないプリント配線板等の金属配線パターンの製造過程における露光方法を提供すること。【解決手段】 支持体と、熱可塑性高分子結合剤、特定の重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性モノマー、特定の光重合開始剤及び特定のヒンダードフェノール系化合物を含む感光性樹脂層と、保護層とを積層させてなる感光性樹脂積層体を用いる。また、投影露光の前に、支持体を剥がして露光する金属配線パターンの作製方法を用いる。

請求項（抜粋）：

片面又は両面に金属導体層を有する金属被覆絶縁板の金属被覆された面に、支持体(A)、厚みが1〜35μmであるネガ型感光性樹脂層(B)を有する感光性樹脂積層体を、ネガ型感光性樹脂層(B)が該金属被覆絶縁板の金属被覆面と密着するようにラミネートして、フォトマスクを通して紫外線露光するに際し、露光の前に支持体を剥離した上で、フォトマスクの像をレンズを通して投影させることを特徴とする感光性樹脂層への露光方法。

IPC (13件)：

G03F 7/38 501 ,  C08F 2/44 ,  C08F 2/50 ,  C08F257/00 ,  C08F259/00 ,  C08F263/02 ,  C08F265/00 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/20 501 ,  H05K 3/00 ,  H05K 3/06 ,  H05K 3/18

FI (14件)：

G03F 7/38 501 ,  C08F 2/44 B ,  C08F 2/50 ,  C08F257/00 ,  C08F259/00 ,  C08F263/02 ,  C08F265/00 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/20 501 ,  H05K 3/00 G ,  H05K 3/06 E ,  H05K 3/06 J ,  H05K 3/18 D

Fターム (92件)：

2H025AA02 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC14 ,  2H025BC42 ,  2H025BC43 ,  2H025CA28 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB16 ,  2H025CC20 ,  2H025DA01 ,  2H025EA08 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  2H025FA40 ,  2H096AA26 ,  2H096AA27 ,  2H096BA05 ,  2H096BA20 ,  2H096CA05 ,  2H096CA16 ,  2H096CA20 ,  2H096EA02 ,  2H096FA00 ,  2H096GA08 ,  2H096HA17 ,  2H096HA27 ,  2H096JA03 ,  2H096JA04 ,  2H097CA12 ,  2H097FA01 ,  2H097LA09 ,  4J011PA65 ,  4J011PA66 ,  4J011PA67 ,  4J011PA68 ,  4J011PA69 ,  4J011SA78 ,  4J011TA02 ,  4J011TA10 ,  4J011UA01 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01 ,  4J026AA17 ,  4J026AA23 ,  4J026AA24 ,  4J026AA31 ,  4J026AA37 ,  4J026AA38 ,  4J026AA45 ,  4J026AA49 ,  4J026AA50 ,  4J026BA27 ,  4J026BA29 ,  4J026BA30 ,  4J026DB11 ,  4J026DB16 ,  4J026DB36 ,  4J026GA06 ,  5E339AA02 ,  5E339AB01 ,  5E339AC06 ,  5E339AD01 ,  5E339AD03 ,  5E339BC02 ,  5E339BC03 ,  5E339BD03 ,  5E339BD06 ,  5E339BE13 ,  5E339CC02 ,  5E339CD01 ,  5E339CE11 ,  5E339CE14 ,  5E339CF01 ,  5E339CF05 ,  5E339CG04 ,  5E339DD04 ,  5E343AA03 ,  5E343AA17 ,  5E343AA18 ,  5E343BB23 ,  5E343BB24 ,  5E343BB25 ,  5E343BB28 ,  5E343CC63 ,  5E343DD76 ,  5E343GG08

引用特許：

審査官引用 (5件)

• ポジ型感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-130553   出願人：日本石油株式会社
• アルカリ可溶型感光性樹脂及びそれを用いたアルカリ現像型感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-258710   出願人：新日本製鐵株式会社, 新日鐵化学株式会社
• 感光性樹脂組成物、感光性エレメント、絶縁樹脂材料及びそれを用いた多層配線基板の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-168695   出願人：富士写真フイルム株式会社
• 感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法及びプリント配線板の製造法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-344025   出願人：日立化成工業株式会社
• 多層配線基板の製造の際に用いられる樹脂組成物、感光性エレメントおよび多層配線基板の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-142398   出願人：富士写真フイルム株式会社