特許
J-GLOBAL ID：200903087174615490

基板当接部材の洗浄機構

発明者：
木▲崎▼ 幸治

木▲崎▼ 幸治 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (1件)： 川崎 実夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-134474
公開番号（公開出願番号）：特開2002-326064
出願日： 2001年05月01日
公開日（公表日）： 2002年11月12日
要約：
【要約】【課題】基板当接部材を上下方向に移動させるための駆動機構が不要な基板当接部材の洗浄機構を提供する。また、基板当接部材をより良好に洗浄することができる基板当接部材の洗浄機構を提供する。【解決手段】当接ピン洗浄装置22は、当接ピン211を収容可能なピン収容ブロック221を備えている。ピン収容ブロック221は、シリンダ23による当接ピン211の移動経路上に配置されていて、その移動経路に沿って移動する当接ピン211が通過可能なピン通路222を有している。また、ピン収容ブロック221には、ピン通路222内の雰囲気を排気するための排気路224が形成されている。排気路224の先端は、ピン通路222の側面に形成された排気口226に接続されている。排気口226は、ホームポジションに戻された当接ピン211の下端部の周面に、当接ピン211の進入方向とは反対側から臨む位置に形成されている。
請求項（抜粋）：
基板に当接する基板当接部材を洗浄するための機構であって、上記基板当接部材をほぼ水平方向に移動させる水平移動手段と、この水平移動手段による上記基板当接部材の移動経路上に配置されており、上記水平移動手段によって移動されてくる上記基板当接部材を洗浄液で洗浄する洗浄手段とを含むことを特徴とする基板当接部材の洗浄機構。
IPC (2件)：
B08B 3/02 ,  H01L 21/304 643
FI (2件)：
B08B 3/02 Z ,  H01L 21/304 643 Z
Fターム (9件)：
3B201AA02 ,  3B201AB02 ,  3B201BB21 ,  3B201BB72 ,  3B201BB90 ,  3B201BB94 ,  3B201BB99 ,  3B201CD11 ,  3B201CD22
引用特許：
審査官引用 (2件)
  • 基板端縁洗浄装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-341688   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
  • 現像装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-037890   出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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