特許

J-GLOBAL ID：200903087262427297

プローブカード

発明者： 庄 雅彦 ,  新 祐一
出願人/特許権者： 株式会社日本マイクロニクス
代理人 (1件)： 松永 宣行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-206017
公開番号（公開出願番号）：特開2002-022770
出願日： 2000年07月07日
公開日（公表日）： 2002年01月23日
要約：

【要約】【目的】 温度上昇に起因する不規則な変形を可能な限り小さくすること【解決手段】 プローブカードは、集積回路のような被検査体の電極に接触される複数の接触子を一方の面の側に有するカード本体と、前記一方の面側に気体の流れを形成する流体流出口又は流体吸引口を前記一方の面側に有する1以上のガス流形成器とを含む。

請求項（抜粋）：

被検査体の電極に接触される複数の接触子を一方の面の側に有するカード本体と、前記一方の面側に気体の流れを形成する流体流出口又は流体吸引口を前記一方の面側に有する1以上のガス流形成器とを含む、プローブカード。

IPC (5件)：

G01R 1/073 ,  G01R 1/06 ,  G01R 31/26 ,  G01R 31/28 ,  H01L 21/66

FI (5件)：

G01R 1/073 E ,  G01R 1/06 E ,  G01R 31/26 J ,  H01L 21/66 B ,  G01R 31/28 K

Fターム (26件)：

2G003AA07 ,  2G003AA10 ,  2G003AB01 ,  2G003AC03 ,  2G003AD04 ,  2G003AG04 ,  2G003AG12 ,  2G003AH07 ,  2G011AA02 ,  2G011AA17 ,  2G011AA21 ,  2G011AB08 ,  2G011AB10 ,  2G011AC14 ,  2G011AE03 ,  2G011AF07 ,  2G032AB01 ,  2G032AB13 ,  2G032AF01 ,  2G032AL03 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106BA01 ,  4M106BA14 ,  4M106DD10 ,  4M106DD22

引用特許：

審査官引用 (3件)

• プローブカード
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-318962   出願人：日本電気株式会社
• プローブカード
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-199066   出願人：東芝マイクロエレクトロニクス株式会社, 株式会社東芝
• ICソケットの異物除去装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-013139   出願人：九州日本電気株式会社