質量センサ及び質量検出方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡邉一平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-059504
公開番号（公開出願番号）：特開2000-180250
出願日： 1999年03月05日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
要約：

【要約】【課題】細菌、ウイルス等の微生物や化学物質、蒸着膜厚等のナノグラムオーダーの微小質量の測定を、簡単に、かつ正確に行うことのできる質量センサ及び質量検出方法を提供する。【解決手段】連結板3が振動板2と圧電素子6を配設した検出板4に挟持されるように、それぞれの側面を接合することで共振部が形成され、連結板3がセンサ基板7に設けられた凹部8の側部側面に跨設され、かつ、検出板4が少なくとも凹部8の底部と接合されてなる質量センサ50である。振動板2の質量変化に伴う共振部の共振周波数の変化を測定することにより、振動板2の質量変化を測定する。

請求項（抜粋）：

連結板が振動板と少なくとも一方の平板面の少なくとも一部に圧電素子を配設した検出板に挟持されるように、それぞれの側面を接合して共振部が形成され、当該連結板がセンサ基板に設けられた凹部の側部側面に跨設され、かつ、当該検出板が少なくとも当該凹部の底部と接合されてなることを特徴とする質量センサ。

IPC (3件)：

G01G 3/13 , G01G 3/16 , G01N 5/02

FI (3件)：

G01G 3/13 , G01G 3/16 , G01N 5/02 A

引用特許：

出願人引用 (10件)

センサ素子及び粒子センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-304579 出願人：日本碍子株式会社
半導体角速度センサとその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-306463 出願人：日本航空電子工業株式会社
特開平4-009630

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