特許
J-GLOBAL ID：200903087306520346

露光装置及び方法

発明者：
臼井 哲也

臼井 哲也 について

, 
北川 智也

北川 智也 について

, 
大場 昌宏

大場 昌宏 について


出願人/特許権者：
富士写真フイルム株式会社

富士写真フイルム株式会社 について


代理人 (4件)： 中島 淳 ,  加藤 和詳 ,  西元 勝一 ,  福田 浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-028884
公開番号（公開出願番号）：特開2005-266779
出願日： 2005年02月04日
公開日（公表日）： 2005年09月29日
要約：
【課題】 露光ビームのフォーカス測定から露光開始までに掛かる時間を短縮して生産性を向上することができる露光装置を得る。【解決手段】 露光装置100では、ステージ152上にセットされた感光材料150は、ステージ152がガイド158に沿って移動するのに伴いスキャナ162の下方を通過する際に、スキャナ162から照射されるレーザ光によって被露光面56が走査露光される。この感光材料150に対する露光で、感光材料150に設けられた露光位置の基準部を検出するアライメント測定用のCCDカメラ182をスキャナ162の上流側に配置し、被露光面56との距離を測定するフォーカス測定用の変位センサ184をCCDカメラ182の近傍に配置する。露光装置100の露光動作では、変位センサ184による距離測定がCCDカメラ182による基準部の検出と同時に行えるため、感光材料150を基準部検出完了位置から露光開始位置まで移動させる距離を短くすることができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
画像情報に応じて変調された光ビームにより感光材料を走査露光する露光手段と、 前記露光手段と感光材料とを走査方向に沿った方向へ相対移動させる移動手段と、 前記移動手段により前記露光手段と相対移動される感光材料に対し、感光材料に設けられた露光位置の基準部を検出する基準部検出手段と、 前記基準部検出手段の近傍に設けられ、感光材料の被露光面との距離を測定する距離測定手段と、 前記基準部検出手段による検出情報に基づいて光ビームによる露光位置ずれの補正制御を行い、且つ、前記距離測定手段による測定情報に基づいて光ビームの焦点位置を前記被露光面に一致させるフォーカス制御を行う制御手段と、 を有することを特徴とする露光装置。
IPC (3件)：
G03F9/02 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027
FI (3件)：
G03F9/02 Z ,  G03F7/20 505 ,  H01L21/30 529
Fターム (18件)：
2H097AA04 ,  2H097AB05 ,  2H097BA01 ,  2H097CA06 ,  2H097CA17 ,  2H097KA13 ,  2H097KA20 ,  2H097KA38 ,  5F046BA05 ,  5F046BA07 ,  5F046CA03 ,  5F046CB02 ,  5F046CB18 ,  5F046CB25 ,  5F046DA01 ,  5F046DA14 ,  5F046DB05 ,  5F046DC10
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 特許第3305448号公報
  • 特許第3381258号公報
審査官引用 (4件)
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