特許
J-GLOBAL ID：200903087316292660

真空装置

発明者：
ディルク シラー

ディルク シラー について

, 
エルンスト シュナッケ

エルンスト シュナッケ について

, 
ホルガー ディーツ

ホルガー ディーツ について


出願人/特許権者：
ライボルト ヴァキューム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング

ライボルト ヴァキューム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング について


代理人 (4件)： 矢野 敏雄 ,  山崎 利臣 ,  久野 琢也 ,  アインゼル・フェリックス=ラインハルト
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-523540
公開番号（公開出願番号）：特表2007-502960
出願日： 2004年07月14日
公開日（公表日）： 2007年02月15日
要約：
本発明は真空装置に関し、該真空装置は複数のクライオポンプ(10)、殊に互いに並列的に接続され複数のクライオポンプを備えている。さらに少なくとも1つの圧縮装置(16)を設けてあり、該圧縮装置は媒体供給管路(12)を冷却装置(10)に接続している。媒体戻り管路(14)は、同じく圧縮装置(16)及びクライオポンプ(10)に接続されている。媒体供給管路(12)と媒体戻り管路(14)との間に、媒体のための貯蔵容器(20)を配置してある。さらに媒体供給管路内に圧力測定装置(30)を設けてある。圧力測定装置は制御装置(32)を介して供給弁(26)に接続されている。クライオポンプ(10)に生じている圧力差をできるだけ一定に保つために、媒体供給管路(12)内の圧力が所定の閾値を超えた場合に、供給弁(26)は開かれるようになっており、その結果、媒体は貯蔵容器(20)内に流れ込む。
請求項（抜粋）：
真空装置であって、 複数の冷却装置(10)を備えており、 媒体供給管路(12)を介して前記冷却装置(10)に接続された圧縮装置(16)を備えており、 前記冷却装置(10)と前記圧縮装置(16)とを接続する媒体戻り管路(14)を備えており、 前記媒体供給管路(12)及び前記媒体戻り管路(14)に接続管路(22,24)を介して接続された貯蔵容器(20)を備えており、 前記媒体供給管路(12)と前記貯蔵容器(20)との間の接続管路(22)内に配置された供給弁(26)を備えており、 媒体圧力の測定のための圧力測定装置(30)及び前記供給弁(26)に接続されていて測定された圧力に依存して前記供給弁(26)を制御するための制御装置(32)を備えている形式のものにおいて、 媒体供給管路(12)内にのみ、若しくは媒体戻り管路(14)内にのみ1つの圧力測定装置(30)を設けてあることを特徴とする真空装置。
IPC (2件)：
F25B 9/00 ,  F25B 9/06
FI (2件)：
F25B9/00 H ,  F25B9/06
引用特許：
審査官引用 (10件)
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