特許
J-GLOBAL ID：200903087364088659

貼付テーブル

発明者：
辻本 正樹

辻本 正樹 について

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吉岡 孝久

吉岡 孝久 について

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小林 賢治

小林 賢治 について


出願人/特許権者：
リンテック株式会社

リンテック株式会社 について


代理人 (1件)： 山口 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-155595
公開番号（公開出願番号）：特開2005-317882
出願日： 2004年05月26日
公開日（公表日）： 2005年11月10日
要約：
【課題】 接着シートを半導体ウエハに貼付したときに、ウエハ回りの不要接着シート部分が貼付テーブルの面に強く接着してしまうことを回避してウエハ上の接着シートに皺等を発生させることのない貼付テーブルを提供すること。【解決手段】 半導体ウエハWの支持面となる内側テーブル部40Cと、この内側テーブル部を囲む外側テーブル部40Dとを備えて貼付テーブル40が構成されている。内側テーブル部と外側テーブル部との間に伝熱部材44が介装され、この伝熱部材により外側テーブル部40Dは内側テーブル部40Cよりも低温に制御されるようになっている。【選択図】 図9
請求項（抜粋）：
半導体ウエハに感熱接着性の接着シートを貼付するための貼付テーブルにおいて、 前記半導体ウエハ支持面に対応する内側テーブル部と、この内側テーブル部を囲む外側テーブル部とを備え、当該外側テーブル部は前記内側テーブル部よりも低温に制御されることを特徴とする貼付テーブル。
IPC (1件)：
H01L21/68
FI (1件)：
H01L21/68 N
Fターム (9件)：
5F031CA02 ,  5F031DA15 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031GA25 ,  5F031HA78 ,  5F031MA35 ,  5F031MA37 ,  5F031MA38
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (4件)
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