特許
J-GLOBAL ID：200903087376085485

微小高さ測定装置

発明者：
水村 通伸

水村 通伸 について


出願人/特許権者：
株式会社ブイ・テクノロジー

株式会社ブイ・テクノロジー について


代理人 (1件)： 笹島 富二雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-135381
公開番号（公開出願番号）：特開2007-304058
出願日： 2006年05月15日
公開日（公表日）： 2007年11月22日
要約：
【課題】被測定物上に測定点を指定してその測定点の高さを高速で測定する。【解決手段】光源1と、対物レンズ2と、光源1と対物レンズ2とを結ぶ光路上に該光路に沿って変位可能に配設された集光レンズ3と、集光レンズ3がその変位範囲内の所定位置に配置されているとき、対物レンズ2による被測定物上の結像点と光学的に共役の関係に配設され、複数のマイクロミラーをマトリクス状に配列した測定点選択手段4と、集光レンズ3が上記所定位置の対物レンズ3側に配置されているとき、対物レンズ3による被測定物上の結像点と光学的に共役の関係に配設された撮像手段5と、光源1からの光ビームにて被測定物上の測定点で反射され、測定点選択手段4で反射されて戻る光を検出する光検出手段6と、集光レンズを変位させると共にその変位量を検出して出力する変位手段7と、被測定物の測定点の高さを求める制御手段10と、を備えたものである。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
光ビームを放射する光源と、 前記光源からの光ビームを被測定物上に指定された測定点に集光してビームスポットを形成する対物レンズと、 前記光源と対物レンズとを結ぶ光路上に該光路に沿って変位可能に配設された集光レンズと、 前記集光レンズがその変位範囲内の所定位置に配置されているとき、前記対物レンズによる前記被測定物上の結像点と光学的に共役の関係に配設され、前記光源からの光ビームが被測定物方向に反射するように個別に傾く複数のマイクロミラーをマトリクス状に配列した測定点選択手段と、 前記集光レンズが前記所定位置に対して前記対物レンズ側に配置されているとき、前記対物レンズから前記光源に向かう光路にて前記測定点選択手段で反射される光の光路上に、前記対物レンズによる前記被測定物上の結像点と光学的に共役の関係に配設され、該被測定物上の測定点の像を撮像する撮像手段と、 前記光源からの光ビームにて前記被測定物上の測定点で反射され、前記測定点選択手段で反射されて戻る光を検出する光検出手段と、 前記集光レンズを前記対物レンズの光軸方向に変位させると共にその変位量を検出して出力する変位手段と、 前記測定点選択手段の各マイクロミラーを駆動制御し、前記変位手段の変位を制御すると共に、前記光検出手段で検出された光の輝度及び前記変位手段より入力した変位量のデータから最大輝度値を示す変位量を被測定物の前記測定点の高さとして求める制御手段と、 を備えたことを特徴とする微小高さ測定装置。
IPC (1件)：
G01B 11/02
FI (1件)：
G01B11/02 H
Fターム (7件)：
2F065AA02 ,  2F065AA24 ,  2F065FF04 ,  2F065FF44 ,  2F065HH04 ,  2F065LL18 ,  2F065QQ29
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (4件)
  • 変位センサ及び変位測定方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-024920   出願人：サンクス株式会社
  • 光走査型観察装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-091050   出願人：オリンパス株式会社
  • 共焦点走査顕微鏡
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-186768   出願人：寺川進, 川人祥二
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM