特許

J-GLOBAL ID：200903087405028429

露光装置

発明者： 大場 昌宏 ,  高田 倫久
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (4件)： 中島 淳 ,  加藤 和詳 ,  西元 勝一 ,  福田 浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-014283
公開番号（公開出願番号）：特開2006-201586
出願日： 2005年01月21日
公開日（公表日）： 2006年08月03日
要約：

【課題】 シェーディング性能及びつなぎ補正性能を向上させて高精度な画像露光を行いつつ、生産性の向上と装置の小型化を図る。【解決手段】 複数の露光ヘッド30に対して相対移動し、感光材料20を走査方向に沿って搬送するステージ18における移動方向の同一端部に、複数の露光ヘッド30から照射された各光ビームにより露光される露光領域のつなぎを補正するために各光ビームによる露光位置を検出するビーム位置検出手段と、複数の露光ヘッド30から照射された各光ビームの光量分布を均一化するシェーディング調整及び露光量の調整をするために各光ビームの光量分布及び露光量を測定する光量測定手段とを備えた測定ユニット70を配置する。この各手段を用いて行うビーム位置検出及び光量測定では、ステージ18移動距離が短くされ、測定時間が短縮される。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

画像情報に応じて変調された光ビームを照射して感光材料を走査露光する複数の露光ヘッドと、 前記複数の露光ヘッドに対して相対移動し、感光材料を走査方向に沿って搬送する搬送手段と、 前記複数の露光ヘッドから照射された各光ビームの露光面上での露光位置を検出するビーム位置検出手段と、 前記複数の露光ヘッドから照射された各光ビームの光量分布及び/又は露光量を測定する光量測定手段と、 を有し、 前記ビーム位置検出手段及び前記光量測定手段が前記搬送手段における移動方向の同一端部に配置されていることを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

G03F 7/20 ,  H01L 21/027 ,  B41J 2/445

FI (3件)：

G03F7/20 501 ,  H01L21/30 529 ,  B41J3/21 V

Fターム (19件)：

2C162AE23 ,  2C162AE48 ,  2C162AF24 ,  2C162AF82 ,  2C162AF84 ,  2C162FA09 ,  2C162FA18 ,  2C162FA44 ,  2C162FA48 ,  2H097AA03 ,  2H097BB01 ,  2H097CA03 ,  2H097CA17 ,  2H097KA20 ,  5F046BA07 ,  5F046CB18 ,  5F046CB27 ,  5F046DA02 ,  5F046FA09

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 画素位置特定方法、画像ずれ補正方法、および画像形成装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-164705   出願人：富士写真フイルム株式会社
• 基準マーク位置測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-147655   出願人：富士写真フイルム株式会社