特許

J-GLOBAL ID：200903087407395194

ゲートバルブ

発明者： 岡 寛樹 ,  飯塚 洋二 ,  中川 健一 ,  廣瀬 潤 ,  中込 達也 ,  小泉 浩 ,  大野 浩司
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社 ,  株式会社ブイテックス
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-101785
公開番号（公開出願番号）：特開平10-298785
出願日： 1997年04月18日
公開日（公表日）： 1998年11月10日
要約：

【要約】【課題】弁板の裏面側を隅々まで容易に清掃できるゲートバルブを提供することにある。【解決手段】側面に開口部を有するチャンバ本体7と、このチャンバ本体7の側部に設けられたエアシリンダ11と、このエアシリンダ11に片持ち支持されて昇降する弁板支持部材31と、この弁板支持部材31に設けられ前記チャンバ本体7の側面と平行移動して前記チャンバ本体7の開口部を開閉する弁板21とを具備してなるゲートバルブにおいて、前記弁板支持部材31は、前記エアシリンダ11側の基端支持部材32と先端支持部材33とに2分割され、その基端支持部材32と先端支持部材33とがヒンジ機構37によって回動可能に連結されているとともに、前記基端支持部材32と先端支持部材33とを回動不能に締結するボルト41を設けたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

側面に開口部を有するチャンバ本体と、このチャンバ本体の側部に設けられた昇降機構と、この昇降機構に片持ち支持されて昇降する弁板支持部材と、この弁板支持部材に設けられ前記チャンバ本体の側面と平行移動して前記チャンバ本体の開口部を開閉する弁板とを具備してなるゲートバルブにおいて、前記弁板を支持する弁板支持部材に鉛直方向を軸心とする枢支軸を有するヒンジ機構を設け、前記弁板を前記枢支軸を支点として開閉可能にしたことを特徴とするゲートバルブ。

IPC (4件)：

C23F 4/00 ,  H01L 21/68 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065

FI (4件)：

C23F 4/00 A ,  H01L 21/68 A ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 B

引用特許：

審査官引用 (4件)

• ゲートバルブ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-125084   出願人：東京エレクトロン山梨株式会社
• 真空室のドア装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-289264   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン山梨株式会社
• 箱型真空容器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-014807   出願人：三菱重工業株式会社
• 真空成膜装置における投入室のサンプルカセット搬出入機構
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-257265   出願人：日新電機株式会社