特許

J-GLOBAL ID：200903087550471900

グロー放電装置の放電制御方法および放電制御装置

発明者： 栗 山 昇
出願人/特許権者： 芝浦メカトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-310796
公開番号（公開出願番号）：特開2000-133412
出願日： 1998年10月30日
公開日（公表日）： 2000年05月12日
要約：

【要約】【課題】 放電開始圧力よりも低いスパッタプロセス圧力でアーク放電を抑制してグロー放電を安定的に行うような電源制御を行う方法および装置を提供すること。【解決手段】 高周波電源を用いたグロー放電装置における放電を制御する方法において、前記グロー放電装置におけるグロー放電からアーク放電への移行を検出し、この検出の直後の10マイクロ秒以内の時間にわたり、前記高周波電源からの給電を停止するようにしたことを特徴とするグロー放電装置の放電制御方法、および高周波電源から電力計CM、インピーダンス・マッチング回路IMを介して供給されるグロー放電装置GDと、前記電力計から取り出された信号により反射波電圧の変化分および進行波電圧の変化分を得、これら変化分の前者と後者との差をとる差分回路5と、この差分回路の出力に基づき前記グロー放電装置がグロー放電からアーク放電に移行したことを検出してから前記高周波電源からの給電を10マイクロ秒以内の時間にわたり停止させる制御回路6とをそなえた放電制御装置。

請求項（抜粋）：

高周波電源を用いたグロー放電装置における放電を制御する方法において、前記グロー放電装置におけるグロー放電からアーク放電への移行を検出し、この検出の直後の10マイクロ秒以内の時間だけ、前記高周波電源からの給電を停止するようにしたことを特徴とするグロー放電装置の放電制御方法。

IPC (2件)：

H01T 15/00 ,  C23C 14/40

FI (2件)：

H01T 15/00 Z ,  C23C 14/40

Fターム (3件)：

4K029CA05 ,  4K029DC35 ,  4K029EA09

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 安定した低圧グロープロセスを実行するための方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平6-513673   出願人：フラウンホッファー-ゲゼルシャフトツァフェルダールングデァアンゲヴァンテンフォアシュンクエー.ファオ.
• ITO透明導電膜の作製方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-052255   出願人：アネルバ株式会社
• 直流グロー放電処理装置におけるアーク遮断方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-049880   出願人：日本電子工業株式会社
• 特開昭55-145171