特許

J-GLOBAL ID：200903087583482036

カーボンナノチューブ及びその作製方法、電子放出源

発明者： 村上 明繁 ,  中山 喜萬 ,  秋田 成司 ,  張 梅
出願人/特許権者： 株式会社リコー ,  中山 喜萬
代理人 (1件)： 樺山 亨 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-125574
公開番号（公開出願番号）：特開2001-220674
出願日： 2000年04月26日
公開日（公表日）： 2001年08月14日
要約：

【要約】【課題】 簡易な方法により、平滑な基板表面に基板からほぼ垂直に配向されたカーボンナノチューブを得ること。また、その応用製品を得ること。【解決手段】 平滑な表面を有する基板101上のFeからなる触媒層102を条圧CVD装置110に挿入し、アセチレン、エチレンの少なくても一つを用い、基板温度が675〜750°Cの常圧CVD法によってカーボンナノチューブ103を成長させて作製した。また、カーボンナノチューブ103の応用製品としてエミッタ、電子放出源を得た。

請求項（抜粋）：

平滑な表面を有する基板上にFeからなる触媒層を形成し、アセチレンを用いた常圧CVD(chemical vapor deposition)法によって、基板からほぼ垂直に配向したカーボンナノチューブを作製する方法であって、前記CVD法での基板温度を675〜750°Cとしたことを特徴とするカーボンナノチューブの作製方法。

IPC (3件)：

C23C 16/26 ,  C01B 31/02 101 ,  H01J 9/02

FI (3件)：

C23C 16/26 ,  C01B 31/02 101 F ,  H01J 9/02 B

Fターム (11件)：

4G046CA02 ,  4G046CB01 ,  4G046CB08 ,  4G046CC03 ,  4G046CC06 ,  4K030AA09 ,  4K030BA27 ,  4K030JA05 ,  4K030JA06 ,  4K030JA10 ,  4K030LA11

引用特許：

審査官引用 (1件)

• カーボンナノチューブの合成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-175498   出願人：李鉄真, 株式会社日進ナノテック