特許
J-GLOBAL ID：200903087597263043
挿入光源
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
特許業務法人 ユニアス国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-240400
公開番号（公開出願番号）：特開2009-004388
出願日： 2008年09月19日
公開日（公表日）： 2009年01月08日
要約：
【課題】第1磁気回路と第2磁気回路とを空間部を隔てて対向配置させる場合に、空間部に形成される磁場を強くできると共に耐放射線特性を改善する。【解決手段】周期磁場を形成するための第1磁気回路と、第1磁気回路を支持する第1支持体と、第1磁気回路に対向配置され、周期磁場を形成する第2磁気回路と、第2磁気回路を支持する第2支持体と、対向配置される第1磁気回路と第2磁気回路の間に形成され、電子ビームが通過する空間部と、第1磁気回路と第2磁気回路とを真空封止する真空槽と、第1磁気回路と第2磁気回路を構成する永久磁石を冷却する冷却機構と、第1磁気回路の温度を検出する第1温度センサーと、第1磁気回路を加熱可能な第1ヒーターと、第2磁気回路の温度を検出する第2温度センサーと、第2磁気回路を加熱可能な第2ヒーターと、第1・第2温度センサーによる温度計測データに基づいて、第1・第2ヒーターを制御する温度制御部とを備えている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
周期磁場を形成するための第1磁気回路と、
この第1磁気回路を支持するための第1支持体と、
第1磁気回路に対向配置され、周期磁場を形成するための第2磁気回路と、
この第2磁気回路を支持するための第2支持体と、
対向配置される第1磁気回路と第2磁気回路の間に形成され、電子ビームが通過するための空間部と、
第1磁気回路と第2磁気回路とを真空封止する真空槽と、
第1磁気回路と第2磁気回路を構成する永久磁石を冷却するための冷却機構と、
第1磁気回路の温度を検出する第1温度センサーと、
第1磁気回路を加熱可能な第1ヒーターと、
第2磁気回路の温度を検出する第2温度センサーと、
第2磁気回路を加熱可能な第2ヒーターと、
第1・第2温度センサーによる温度計測データに基づいて、第1ヒーター及び第2ヒーターを制御する温度制御部とを備えていることを特徴とする挿入光源。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (9件)：
2G085AA13
, 2G085BA16
, 2G085BC02
, 2G085BD01
, 2G085BE02
, 2G085BE06
, 2G085CA11
, 2G085CA26
, 2G085DB08
出願人引用 (8件)
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挿入型偏光発生装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平11-008183
出願人：住友特殊金属株式会社, 理化学研究所
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挿入型偏光発生装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2000-268940
出願人：住友特殊金属株式会社
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加速管の温度調節システム
公報種別：公開公報
出願番号：特願平9-172857
出願人：川崎重工業株式会社
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審査官引用 (7件)
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引用文献：
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