特許
J-GLOBAL ID:200903087617331970

回路パターンの形成方法および回路基板

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 岡本 寛之 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-305016
公開番号(公開出願番号):特開2001-127407
出願日: 1999年10月27日
公開日(公表日): 2001年05月11日
要約:
【要約】【課題】 めっきもぐりを有効に防止して、めっきレジストを用いてファインパターンの回路パターンを正確かつ確実に形成することのできる、回路パターンの形成方法、および、その方法によって形成されている回路パターンを有している回路基板を提供すること。【解決手段】 基板1の上に、所定の回路パターンと逆パターンのめっきレジスト2を形成した後、そのめっきレジスト2に、紫外線照射および/またはプラズマ処理を行ない、その後、めっきレジスト2が形成されていない基板1の上に、めっき3により回路パターンを形成する。このような方法によれば、めっきレジスト2と基板1との間の接着力が高められ、めっきする時に、めっき3がめっきレジストと基板との間の界面にもぐり込む、いわゆるめっきもぐりを有効に防止することができる。
請求項(抜粋):
基板の上に、所定の回路パターンと逆パターンのめっきレジストを形成した後、めっきレジストが形成されていない基板の上に、めっきにより回路パターンを形成する方法であって、めっきをする前に、めっきレジストに、紫外線照射および/またはプラズマ処理を行なうことを特徴とする、回路パターンの形成方法。
Fターム (18件):
5E343AA18 ,  5E343AA22 ,  5E343BB23 ,  5E343BB24 ,  5E343BB34 ,  5E343BB38 ,  5E343BB44 ,  5E343BB45 ,  5E343BB54 ,  5E343CC43 ,  5E343DD25 ,  5E343DD33 ,  5E343DD43 ,  5E343EE32 ,  5E343EE36 ,  5E343ER18 ,  5E343GG03 ,  5E343GG08
引用特許:
審査官引用 (5件)
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