特許
J-GLOBAL ID:200903087625681603
有機半導体トランジスタ
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
西山 恵三
, 内尾 裕一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-301856
公開番号(公開出願番号):特開2007-110028
出願日: 2005年10月17日
公開日(公表日): 2007年04月26日
要約:
【課題】 真空蒸着などの汎用薄膜プロセスで作製される有機FETでは、結晶粒界におけるエネルギー障壁がFET特性である移動度を低減させたり、ソース電極/ドレイン電極間のオン電流を低減させたりという問題がある。本発明は前記二点の問題点解決となる手法を提供する。【解決手段】 有機FETにおけるゲート絶縁層とは対極側に、電気的に短絡しない量の導電性微粒子分散層を形成したOFETの調製方法を提供する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
基板上にゲート電極、絶縁層、ソース電極、ドレイン電極、半導体層を有する電界効果型有機半導体トランジスタにおいて、前記有機半導体層を挟んで前記絶縁層と対向し、かつ、導電性微粒子がソース電極/ドレイン電極間を短絡する連続体を形成しない分散層(以下、導電性微粒子分散層)を形成していることを特徴とする有機半導体トランジスタ。
IPC (3件):
H01L 29/786
, H01L 51/05
, H01L 51/30
FI (4件):
H01L29/78 618B
, H01L29/78 618E
, H01L29/28 100A
, H01L29/28 220A
Fターム (38件):
5F110AA01
, 5F110AA07
, 5F110CC07
, 5F110DD01
, 5F110EE01
, 5F110EE02
, 5F110EE03
, 5F110EE04
, 5F110EE07
, 5F110EE08
, 5F110EE09
, 5F110EE42
, 5F110EE43
, 5F110EE44
, 5F110EE45
, 5F110FF01
, 5F110FF02
, 5F110FF03
, 5F110FF23
, 5F110FF27
, 5F110FF29
, 5F110FF30
, 5F110GG01
, 5F110GG05
, 5F110GG19
, 5F110GG25
, 5F110GG28
, 5F110GG29
, 5F110GG42
, 5F110HK01
, 5F110HK02
, 5F110HK03
, 5F110HK04
, 5F110HK07
, 5F110HK09
, 5F110HK32
, 5F110HK33
, 5F110HK34
引用特許:
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