特許
J-GLOBAL ID：200903087640118559

ポリッシング装置

発明者：
鳥居 弘臣

鳥居 弘臣 について

, 
相澤 英夫

相澤 英夫 について

, 
磯部 壮一

磯部 壮一 について


出願人/特許権者：
株式会社荏原製作所

株式会社荏原製作所 について


代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-294666
公開番号（公開出願番号）：特開2002-103201
出願日： 2000年09月27日
公開日（公表日）： 2002年04月09日
要約：
【要約】【課題】 スクラッチの原因となる研磨面上の脱落ドレッシング部材、砥液、研磨屑などを容易かつ確実に除去し、研磨対象物の研磨品質を高めることができる研磨装置を提供する。【解決手段】 研磨面を有する研磨テーブル11と該研磨面の目立てを行なうドレッサー33とを有し、研磨面に研磨対象物Wを押圧して該研磨対象物Wを研磨するポリッシング装置において、ドレッサー33の下面には、研磨面に摺接して該研磨面のドレッシングを行なうドレッシング部材34と、液体供給源50から供給される洗浄液と気体供給源40から供給される気体とを混合した液体を研磨テーブル11の研磨面に噴射する噴射ノズル35とを設けた。
請求項（抜粋）：
研磨面を有する研磨テーブルと該研磨テーブルの研磨面の目立てを行なうドレッサーとを有し、上記研磨テーブルの研磨面に研磨対象物を押圧して該研磨対象物を研磨するポリッシング装置において、上記ドレッサーの下面には、上記研磨面に摺接して該研磨面のドレッシングを行なうドレッシング部材と、液体供給源から供給される液体を上記研磨テーブルの研磨面に噴射する噴射ノズルとを設けたことを特徴とするポリッシング装置。
IPC (5件)：
B24B 37/00 ,  B24B 53/02 ,  B24B 55/02 ,  B24B 55/06 ,  H01L 21/304 622
FI (5件)：
B24B 37/00 A ,  B24B 53/02 ,  B24B 55/02 B ,  B24B 55/06 ,  H01L 21/304 622 M
Fターム (14件)：
3C047AA21 ,  3C047AA34 ,  3C047FF08 ,  3C047FF19 ,  3C047GG01 ,  3C047GG08 ,  3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058AA19 ,  3C058AC01 ,  3C058AC04 ,  3C058CB01 ,  3C058CB02 ,  3C058DA17
引用特許：
審査官引用 (2件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM