特許
J-GLOBAL ID:200903087679552930
窒化物単結晶およびその製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (6件):
深見 久郎
, 森田 俊雄
, 仲村 義平
, 堀井 豊
, 野田 久登
, 酒井 將行
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-195665
公開番号(公開出願番号):特開2006-016252
出願日: 2004年07月01日
公開日(公表日): 2006年01月19日
要約:
【課題】 大きな窒化物単結晶およびその製造方法を提供する。【解決手段】 窒化物結晶11の表面に希土類元素の化合物を含有する物質輸送媒体層12を形成し、種結晶13を物質輸送触体層12に接触させることにより、種結晶13に窒化物単結晶14を成長させることを特徴とする窒化物単結晶の製造方法である。さらには、物質輸送媒体層12として、アルミニウム化合物、アルカリ土類化合物および遷移金属化合物からなる群から選ばれる1以上の化合物と希土類元素の化合物を含有する窒化物単結晶の製造方法である。かかる製造方法により、結晶径が10nm以上の窒化物単結晶が得られる。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
窒化物結晶の表面に希土類元素の化合物を含有する物質輸送媒体層を形成し、種結晶を前記物質輸送媒体層に接触させることにより、前記種結晶に窒化物単結晶を成長させることを特徴とする窒化物単結晶の製造方法。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (9件):
4G077AA02
, 4G077BE13
, 4G077BE14
, 4G077CE01
, 4G077CE02
, 4G077EJ10
, 4G077HA02
, 4G077JB09
, 4G077NB01
引用特許:
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