特許
J-GLOBAL ID：200903087713132377

アクチュエータ装置及びその製造方法並びにインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置

発明者：
守谷 壮一

守谷 壮一 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 栗原 浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-073305
公開番号（公開出願番号）：特開2000-263785
出願日： 1999年03月18日
公開日（公表日）： 2000年09月26日
要約：
【要約】【課題】 圧電体層の絶縁破壊を防止したアクチュエータ装置及びその製造方法、並びにインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置を提供する。【解決手段】 上電極80の端部は下電極60の端部よりも内側に位置して前記圧電素子300の実質的な駆動部となる圧電体能動部320の端部となっており、上電極80の端部より外側に突出した下電極60上に圧電体層70を設けて実質的に駆動されない圧電体非能動部330を構成すると共に下電極60の端部の外側にも圧電体層70を設け、下電極60端部近傍の圧電体層70の絶縁破壊を防止する。
請求項（抜粋）：
基板の一方面に絶縁層を介して設けられた下電極、該下電極上に設けられた圧電体層及び該圧電体層上に設けられた上電極からなる圧電素子を具備するアクチュエータ装置において、前記上電極の端部は前記下電極の端部よりも内側に位置して前記圧電素子の実質的な駆動部となる圧電体能動部の端部となっており、前記上電極の端部より外側に突出した前記下電極上には前記圧電体層が設けられて実質的に駆動されない圧電体非能動部を構成すると共に前記下電極の端部の外側にも前記圧電体層が設けられていることを特徴とするアクチュエータ装置。
IPC (5件)：
B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/22
FI (4件)：
B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/22 Z
Fターム (14件)：
2C057AF66 ,  2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AG57 ,  2C057AG90 ,  2C057AG92 ,  2C057AG93 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP34 ,  2C057AP52 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14
引用特許：
審査官引用 (6件)
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