特許

J-GLOBAL ID：200903087724716966

レーザー加工用回折光学素子、レーザー加工装置及びレーザー加工方法

発明者： 澤田 寿史
出願人/特許権者： 太陽誘電株式会社
代理人 (1件)： 北條 和由
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-027670
公開番号（公開出願番号）：特開2002-228818
出願日： 2001年02月05日
公開日（公表日）： 2002年08月14日
要約：

【要約】【課題】 レーザービーム5を分岐し、かつそれぞれ分岐したレーザービームを3次元的に集光させることができ、これにより集光のためのレンズ等の光学系を不要にし、それ故回折素子と集光光学系との面倒な光軸合わせや焦点合わせ等の調整も不要とし、なお且つ段差のある面への同時集光照射も可能とする。【解決手段】 フレネル回折現象を使用したホログラム素子1を用い、ホログラム素子1の回折面4の回折格子パターンにより、レーザービームを複数の光束に分岐すると同時に、フレネルレンズによりそれら分岐したレーザービームを収束し、加工物2の加工面上の複数のスポット3a、3b...に集光する。

請求項（抜粋）：

レーザービーム(3)を複数の光束に分岐し、かつその分岐した各光束をそれぞれ加工物(2)の加工面上の複数のスポット(3a)、(3b)...に集光する回折格子パターンを形成した回折面(4)を有するホログラム素子(1)からなることを特徴とするレーザー加工用回折光学素子。

IPC (4件)：

G02B 5/18 ,  B23K 26/06 ,  G02B 5/32 ,  G03H 1/08

FI (6件)：

G02B 5/18 ,  B23K 26/06 E ,  B23K 26/06 A ,  B23K 26/06 C ,  G02B 5/32 ,  G03H 1/08

Fターム (20件)：

2H049AA26 ,  2H049AA33 ,  2H049AA50 ,  2H049AA55 ,  2H049AA65 ,  2H049CA01 ,  2H049CA08 ,  2H049CA15 ,  2H049CA17 ,  2H049CA28 ,  2K008AA00 ,  2K008CC01 ,  2K008CC03 ,  2K008EE01 ,  2K008FF27 ,  2K008HH01 ,  4E068CD01 ,  4E068CD04 ,  4E068CD05 ,  4E068CD08

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 光書込み装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-142579   出願人：株式会社リコー
• 特開平2-117791
  
• レーザアニーリング方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-285471   出願人：三菱電機株式会社
• 特開平2-117791
  

引用文献：

審査官引用 (1件)

• Kinoform design with an optimal-rotation-angle method