プローブユニット

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木利之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-355770
公開番号（公開出願番号）：特開平10-185956
出願日： 1996年12月25日
公開日（公表日）： 1998年07月14日
要約：

【要約】【課題】液晶基板のサイズに合わせて複数のプローブブロックの位置を調節できるようにし、かつ、各辺ごとにプローブブロックを接触可能状態と接触不能状態に切り替えることができるようにして、サイズや品種の異なる基板に対して共通のプローブユニットを使用可能にする。【解決手段】枠状のプローブベース40の4辺に二つの第1プローブ組立体46、47と二つの第2プローブ組立体48、49が取り付けられている。第2プローブ組立体48の第2可動ベース50はガイドレール54上をX方向に移動できる。第2上部プレート52は回動軸60の回りを回動できる。プローブブロック66は案内溝64に沿ってY方向に移動できる。第2上部プレート52は引っ張りコイルバネ76によって下方に引っ張られているが、突出片78が可動片80に接触している。エアーシリンダ82が収縮して可動片80が左に移動すると、第2上部プレート52が回動して、プローブ針が上昇し、接触不能状態になる。第1プローブ組立体も第2プローブ組立体と同様の構成である。

請求項（抜粋）：

矩形の被測定基板の周辺部に配置された多数の電極に接触子を接触させて被測定基板を検査するプローブユニットにおいて、次の構成を備えるプローブユニット。(イ)X方向に延びる二つのX辺と前記X方向に垂直なY方向に延びる二つのY辺とを備える枠状のプローブベース。(ロ)前記プローブベースの二つのX辺のそれぞれにおいてY方向に位置調節可能に取り付けられた第1可動ベース。(ハ)前記第1可動ベースに取り付けられていて、前記接触子が前記電極に接触可能な状態と接触不能の状態のいずれかの状態になり得る第1上部プレート。(ニ)前記第1上部プレートに対してX方向に位置調節可能に取り付けられていて前記接触子を備える複数のプローブブロック。(ホ)前記プローブベースの二つのY辺のそれぞれにおいてX方向に位置調節可能に取り付けられた第2可動ベース。(ヘ)前記第2可動ベースに取り付けられていて、前記接触子が前記電極に接触可能な状態と接触不能の状態のいずれかの状態になり得る第2上部プレート。(ト)前記第2上部プレートに対してY方向に位置調節可能に取り付けられていて前記接触子を備える複数のプローブブロック。

IPC (3件)：

G01R 1/073 , G02F 1/13 101 , G09F 9/00 352

FI (3件)：

G01R 1/073 E , G02F 1/13 101 , G09F 9/00 352

引用特許：

審査官引用 (4件)

多電極デバイス検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-171065 出願人：三井造船株式会社
プローブユニット及びその調節方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-061604 出願人：株式会社日本マイクロニクス
特開平3-252571

全件表示

前のページに戻る