特許
J-GLOBAL ID：200903087821466524
研磨用ウエハ保持部材及びそのウエハ保持部材の研磨機定盤への脱着方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-244106
公開番号（公開出願番号）：特開2000-071170
出願日： 1998年08月28日
公開日（公表日）： 2000年03月07日
要約：
【要約】【課題】 研磨用ウエハ保持部材の交換時において、定盤および研磨用ウエハ保持部材の接着剤層を加温するだけで、容易に定盤面から剥離することができる研磨用ウエハ保持部材とその研磨用ウエハ保持部材の定盤からの脱着方法を提供すること。【解決手段】 研磨用ウエハ保持部材は、ウエハを表面に取り外し可能に吸着させ得る発泡層5と、該発泡層5を研磨機の定盤10上に取り付けるための感圧接着剤層3と、該感圧接着剤層3に離型可能に貼り付けられた離型シート4と、を有する。感圧接着剤層を形成する接着剤組成物が、感圧接着剤と、接着剤組成物に対して1〜30重量%の側鎖結晶化可能ポリマーとを含有し、側鎖結晶化可能ポリマーが、炭素数16以上の直鎖状アルキル基を側鎖とするアクリル酸エステル及び/又はメタクリル酸エステルを主成分とする分子量10,000以下のポリマーであり、かつ、ポリマーは、15°Cより狭い温度範囲にわたって起こる第1次溶融転移を有する。
請求項（抜粋）：
ウエハを表面に取り外し可能に吸着させ得る発泡層と、該発泡層の裏面に積層された第1の感圧接着剤層と、該第1の感圧接着剤層の裏面に積層された支持体と、該支持体の裏面に積層されており研磨機の定盤面に接着される第2の感圧接着剤層と、第2の感圧接着剤層に離型可能に貼り付けられる離型シートと、を有する研磨用ウエハ保持部材において、該第2の感圧接着剤層を形成する接着剤組成物が、感圧接着剤と、該接着剤組成物に対して1〜30重量%の側鎖結晶化可能ポリマーとを含有し、該側鎖結晶化可能ポリマーが、炭素数16以上の直鎖状アルキル基を側鎖とするアクリル酸エステル及び/又はメタクリル酸エステルを主成分とすることを特徴とする研磨用ウエハ保持部材。
IPC (3件)：
B24B 37/04
, C09J 7/02
, H01L 21/304 622
B24B 37/04 J
, C09J 7/02 Z
, H01L 21/304 622 J
3C058AA07
, 3C058AA09
, 3C058AB04
, 3C058CA01
, 3C058CB04
, 3C058CB10
, 4J004AA04
, 4J004AA07
, 4J004AA08
, 4J004AA09
, 4J004AA10
, 4J004AB01
, 4J004AB03
, 4J004CA06
, 4J004CC02
, 4J004DB02
, 4J004EA05
, 4J004FA05
, 4J004FA08
