表面特性測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：永井冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-160052
公開番号（公開出願番号）：特開平11-006789
出願日： 1997年06月17日
公開日（公表日）： 1999年01月12日
要約：

【要約】【課題】固体表面や母材表面に形成した薄膜の特性を測定する表面特性測定装置において、他の測定装置を用いることなく、試料の表面状態を正確に観察する。【解決手段】接触針2を試料Tの表面に接触させ、負荷機構3により負荷を増加させつつ試料Tを第1〜第4のPZT5B〜5Eを上下動させて試料Tを矢印A方向に移動する。この際、レーザ光の反射鏡12による反射光の検出器14における照射位置が変動しないように上下PZT5Aを上下動させる。その後、接触針2を試料Tの表面に接触させ、検出器14における反射光の検出位置が変動しないように、接触針2により試料Tの表面を走査し、この際の上下PZT5Aの上下移動量を表す信号に基づいて試料Tの表面3次元形状をCRT11に表示する。

請求項（抜粋）：

試料を載置する試料台と、該試料台を所定方向に移動する移動手段と、前記試料台に載置された試料表面に接触する接触針と、該接触針に負荷を与える負荷手段と、前記試料に対する前記接触針の上下方向の変位を検出する検出手段とを備え、前記試料に所定の負荷を与えつつ前記移動手段により前記試料を移動させ、前記接触針により前記試料の表面に引っかき傷を形成して前記試料の特性を測定する表面特性測定装置において、前記試料台を上下動させる上下動手段と、前記引っかき傷形成後の前記試料に前記接触針を接触させて前記移動手段により前記試料を移動させるとともに、該移動の際に前記引っかき傷による前記接触針の上下動を補償するように前記上下動手段を駆動する制御手段と、前記移動中における前記上下動手段の移動量に基づいて、前記試料の表面状態を画像化する画像化手段とを備えたことを特徴とする表面特性測定装置。

IPC (2件)：

G01N 3/46 , G01N 19/04

FI (2件)：

G01N 3/46 , G01N 19/04 C

引用特許：

審査官引用 (4件)

表面性状試験装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-058430 出願人：ホーヤ株式会社
特開平4-331354
特開平2-281125

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