特許
J-GLOBAL ID:200903087950891258

ビデオワイヤボンダシステムとその操作方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 浅村 皓 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-000669
公開番号(公開出願番号):特開平11-274220
出願日: 1999年01月05日
公開日(公表日): 1999年10月08日
要約:
【要約】【課題】 従来のワイヤボンダシステムの不利な点を実質的に除去または減少する。【解決手段】 ビデオワイヤボンダシステムは、撮像ステーションに結合されたプロセッサ、入力装置、ディスプレイ、メモリを含む。プロセッサは、半導体ダイのボンディングパッドと関連リードフレームのリードフィンガの間の各ビデオワイヤボンドの図形的表現を有する画像オーバレイを生成する。プロセッサは、各ビデオワイヤボンドに関連するビデオワイヤボンドパラメータの組織を含んでなるテンプレートを生成し、またテンプレートをメモリ内に記憶する。ディスプレイは、オペレータがテンプレートをプログラム中に、このオペレータへ視覚フィードバックを供給するために、画像オーバレイを表示する。
請求項(抜粋):
ワイヤボンダをプログラムするシステムであって、半導体ダイと関連リードフレームの画像を記憶するように作動できるメモリと、前記半導体ダイと前記関連リードフレームの間のワイヤボンドを指定するように作動できる入力装置と、前記メモリと前記入力装置に結合され、前記ワイヤボンドと前記半導体ダイと前記関連リードフレームの図形表現を有する画像オーバレイ(上塗り)を生成するように作動できるプロセッサと、前記プロセッサに結合され、前記画像オーバレイを表示するように作動できるディスプレイと、を含む前記システム。
IPC (2件):
H01L 21/60 301 ,  H01L 21/60
FI (2件):
H01L 21/60 301 L ,  H01L 21/60 301 D
引用特許:
審査官引用 (6件)
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