高真空バルブ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：堀宏太郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-174418
公開番号（公開出願番号）：特開平10-002452
出願日： 1996年06月14日
公開日（公表日）： 1998年01月06日
要約：

【要約】【課題】高真空バルブにおいて、金属製環状ガスケットを介装させるための環状スペースの内壁のシール部について、硫酸陽極酸化皮膜処理以外の陽極酸化皮膜処理を施して、シール部の圧縮強度を高め、シール部の傷つき、変形及び金属製環状ガスケットとの固着が起こらないようにすることを課題とする。【解決手段】高真空バルブは、弁ボディ10の弁室11に管部12A・12Bを介して連通する複数のポート13A・13Bが形成され、弁室11と一方の管部12Bを結ぶ流路に弁座14が形成され、弁座14に対して弁体18を接触させることにより流路が閉じられ、弁体18を弁座14から離すことによって流路が開かれる。ポート13A・13Bを形成するアルミニウム合金製の管部12A・12Bの端部に金属製環状ガスケット28を介装させるための環状スペース33が形成される。環状スペース33の内壁にシール部が形成され、シール部又は弁ボディ10全部にしゅう酸陽極酸化皮膜処理を施すことにより、シール部の圧縮強度が高められてシール部の傷つき、変形及び金属製環状ガスケットとの固着が起こらないようにされた。

請求項（抜粋）：

弁ボディの弁室に管部を介して連通する複数のポートが形成され、弁室と一方の管部を結ぶ流路に弁座が形成され、弁座に対して弁体を接触させることにより流路が閉じられ、弁体を弁座から離すことによって流路が開かれる高真空バルブにおいて、ポートを形成するアルミニウム合金製の管部の端部に金属製環状ガスケットを介装させるための環状スペースが形成され、環状スペースの内壁にシール部が形成され、シール部又は弁ボディ全部にしゅう酸陽極酸化皮膜処理を施すことにより、シール部の圧縮強度が高められてシール部の傷つき、変形及び金属製環状ガスケットとの固着が起こらないようにされたことを特徴とする高真空バルブ。

IPC (5件)：

F16K 51/02 , C25D 11/10 , F16J 15/08 , F16K 27/00 , F16L 23/16

FI (5件)：

F16K 51/02 A , C25D 11/10 , F16J 15/08 G , F16K 27/00 C , F16L 23/02 D

引用特許：

審査官引用 (12件)

排気ガス再循環弁
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-172448 出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
特開平2-173472
特開平2-173472

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