特許
J-GLOBAL ID:200903088296192465
光機能素子の製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
酒井 宏明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-296422
公開番号(公開出願番号):特開2009-271496
出願日: 2008年11月20日
公開日(公表日): 2009年11月19日
要約:
【課題】櫛歯電極の長手方向の端部において過剰に分極反転が進行することを防ぎ、均一で高精度な周期分極反転構造を高い製造歩留まりで実現する光機能素子の製造方法を得ること。【解決手段】強誘電体材料の基板の第1の主面上に、一方向に伸長した電極を所定の周期で櫛歯状に複数並列に配置した櫛歯電極105と、櫛歯電極105の周囲を覆うように形成される外枠電極106と、櫛歯電極105と外枠電極106とを結ぶ電極間配線107と、を形成し、第1の主面に対向する基板101の第2の主面上の全面に裏面電極104を形成し、第1の主面の外枠電極106と第2の主面の裏面電極104との間に電圧を印加して周期分極反転構造を形成し、該周期分極反転構造を形成した領域を切出して光機能素子を製造する際に、電極間配線107は絶縁層102を介して基板101上に形成される。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
強誘電体材料の基板の第1の主面上に、一方向に伸長した電極を所定の周期で櫛歯状に複数並列に配置した櫛歯電極と、前記櫛歯電極の周囲を覆うように形成される外枠電極と、前記櫛歯電極と前記外枠電極とを結ぶ電極間配線と、を形成し、前記第1の主面に対向する前記基板の第2の主面上の全面に裏面電極を形成し、前記第1の主面の前記外枠電極と前記第2の主面の前記裏面電極との間に電圧を印加して周期分極反転構造を形成し、該周期分極反転構造を形成した領域を切出して光機能素子を製造する光機能素子の製造方法であって、
前記電極間配線は絶縁層を介して前記基板上に形成されることを特徴とする光機能素子の製造方法。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (9件):
2K002AB12
, 2K002BA01
, 2K002CA03
, 2K002DA01
, 2K002FA06
, 2K002FA07
, 2K002FA17
, 2K002FA27
, 2K002HA20
引用特許:
前のページに戻る